[发明专利]大口径复杂光学镜面精密研抛机器人系统有效

专利信息
申请号: 201210431704.5 申请日: 2012-11-01
公开(公告)号: CN102922388A 公开(公告)日: 2013-02-13
发明(设计)人: 殷跃红;徐勇;彭程;洪海波;姜振华 申请(专利权)人: 上海交通大学
主分类号: B24B13/00 分类号: B24B13/00;B24B49/02
代理公司: 上海旭诚知识产权代理有限公司 31220 代理人: 郑立
地址: 200240 *** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 口径 复杂 光学 精密 机器人 系统
【权利要求书】:

1.一种大口径复杂光学镜面主动柔顺精密研抛机器人系统,包括:光学镜面研抛机器人模块、传感器模块、信号处理计算机模块和主动柔顺控制模块,其特征在于: 

所述光学镜面研抛机器人模块包括:底座、回转台、大臂、上关节、小臂、手腕、第一至第三RV减速器、第一至第三谐波减速器、第一至第四轴承、第一锥齿轮、第二锥齿轮、第一至第三同步带轮组、手腕轴、小臂输入轴、弹簧、销、研抛旋转轴、研抛外筒、研抛盘、第一至第六伺服电机; 

所述传感器模块包括:六维力传感器和压力传感器; 

所述信号处理计算机模块用于信号处理、研抛加工状况分析、和主动柔顺控制反解; 

所述主动柔顺控制模块用于控制机器人轨迹、研抛盘转速和研抛气压。 

2.如权利要求1所述的大口径复杂光学镜面主动柔顺精密研抛机器人系统,其特征在于,所述回转台与所述底座通过所述第一RV减速器连接,所述第一伺服电机与所述第一RV减速器连接,所述回转台与所述大臂通过所述第二RV减速器连接,所述第二伺服电机与所述第二RV减速器连接,所述大臂与所述上关节通过所述第三RV减速器连接,所述第三伺服电机与所述第三RV减速器连接,所述上关节与所述第四伺服电机相连,通过所述第一同步带轮组与所述第一谐波减速器连接,所述第一谐波减速器与所述小臂输入轴连接,所述小臂与所述第五伺服电机相连,通过所述第二同步带轮组与所述第二谐波减速器连接,所述第二谐波减速器与所述手腕轴连接,所述手腕轴通过所述第一、第二轴承安装在所述手腕上,所述小臂与所述第六伺服电机相连,通过所述第三同步带轮组与所述第一锥齿轮连接,所述第一锥齿轮通过所述第三轴承安装在所述手腕上并与所述第二锥齿轮连接,所述第二锥齿轮与所述研抛输入轴连接,所述研抛输入轴通过所述第四轴承安装在所述手腕上,所述研抛输入轴与所述第三谐波减速器连接,所述第三谐波减速器与所述研抛旋转轴连接,所述研抛旋转轴与所述研抛外筒配合,通过所述弹簧和销限制所述研抛外筒的运动,所述研抛外筒与所述研抛盘铰连接。 

3.如权利要求1所述的大口径复杂光学镜面主动柔顺精密研抛机器人系统,其特征在于,所述信号处理计算机模块还包括误差曲面自适应轨迹规划模块,所述误差曲面自适应轨迹规划模块用于根据被加工光学工件的面形检测结果与目标面形模型比较得到的误差曲面的几何特性,进行误差曲面自适应轨迹规划。 

4.如权利要求1所述的大口径复杂光学镜面主动柔顺精密研抛机器人系统,其 特征在于,所述六维力传感器及压力传感器通过数据采集卡连接至所述信号处理计算机模块。 

5.如权利要求1所述的大口径复杂光学镜面精密研抛机器人系统,其特征在于,所述的研抛机器人末端轴与研抛旋转轴连接,研抛外筒与研抛旋转轴配合带动研抛盘旋转 。

6.如权利要求1所述的大口径复杂光学镜面精密研抛机器人系统,其特征在于,多个所述研抛机器人可被设置在加工区域内,通过改变机器人数量对应不同口径镜面的加工。 

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