[发明专利]抛光平台

权利要求书

1.一种抛光平台，包括：

平台基座；

第一凹槽，沿第一方向设置于所述平台基座的上表面上；

多个第二凹槽，沿与所述第一方向垂直的第二方向设置于所述平台基座的上表面上；以及

侧边凸台，设置于所述第一凹槽一侧，其中所述侧边凸台沿所述第二方向从所述平台基座的侧壁突出。

2.如权利要求1所述的抛光平台，其特征在于，所述平台基座的相对于所述第一凹槽和第二凹槽抬起的表面为承载表面，所述承载表面由具有弹性的聚合物制成。

3.如权利要求1所述的抛光平台，其特征在于，所述从所述平台基座的侧壁突出的侧边凸台覆盖所述第一凹槽的上方。

4.如权利要求1所述的抛光平台，其特征在于，所述侧边凸台的上表面的靠近所述侧壁的一侧具有沿所述第二方向布置的第三凹槽。

5.如权利要求1所述的抛光平台，其特征在于，在将被抛光物件置于所述承载表面上进行抛光作业时，从所述抛光平台的与所述侧壁相对的一侧向所述侧壁方向吹气。