[发明专利]节水环保型硅晶片线切割用碳化硅微粉的制备方法

权利要求书

1.一种节水环保型硅晶片线切割用碳化硅微粉的制备方法，其特征在于：

①.连续工业化生产流程；

②.无须添加氢氧化钠洗涤；

③.产生工业废水全部循环使用；

包括如下步骤：

①.浮选除碳

将经雷蒙微磨粉机粉碎分级后的碳化硅微粉投料至浮碳机的反应釜中，加水搅拌30分钟后，升温至60～70℃，加入煤油和松醇油组成的复合浮油，浮选除碳3～4小时，至游离碳含量≤0.15wt％；

②.酸洗除铁

将经步骤①除碳后的料浆引入反应槽，加98％硫酸，总用量为投放物料重量的2～3％，连续搅拌3小时，再浸泡反应8～12小时，除铁至Fe₂O₃含量≤0.15wt％；废酸回收，排入存液槽，备循环使用；

③.磁选除铁

经步骤②处理后的料浆泵送至电磁选机进行磁选除铁。磁选后产品中的铁含量≤0.05wt％；

④.水洗

除铁合格后的料浆，自流至过滤机水洗至pH＝5.0～8.0；滤液一段酸性水进入存液槽，回收利用；滤液不含酸的二段水作为浮碳机进水；

⑤.旋流粗分级

将经步骤④水洗合格后的物料加水搅拌后，泵送至多级旋流器，采用多级旋流器排出微粉中85％的粒径＜3.5μm的颗粒；旋流分级排水进入真空过滤机，作为水洗用水；

⑥.溢流精分级

将步骤⑤旋流分级后的料浆加入分散剂，并连续搅拌2～4小时，然后泵送至水力溢流分级器，加入纯水进行逐号分级；溢流分级后的排水进入旋流器，作为旋流分级用水；

⑦.干燥、精筛

逐号分级后产品离心脱水，经闪蒸机烘干后进入超声波筛分机，筛分并除去大颗粒，使之符合线切割刃料碳化硅微粉的产品粒度的要求；

⑧.检验合格后，混配、包装

精筛后的微粉检验合格后，经混料机混匀，定量包装入库。

2.按照权利要求1的节水环保型硅晶片线切割用碳化硅微粉的制备方法，其特征在于步骤①中所述煤油和松醇油组成的复合浮油中，煤油与松醇油的体积比为煤油：松醇油＝9：1，气浮除碳3～4小时，至游离碳含量≤0.15％。

3.按照权利要求1的节水环保型硅晶片线切割用碳化硅微粉的制备方法，其特征在于步骤①中所述浮选除碳采用连续曝气方式，所述浮碳机设有自动连续移动式刮碳器。

4.按照权利要求1的节水环保型硅晶片线切割用碳化硅微粉的制备方法，其特征在于步骤③中所述电磁选机是自动型湿式电磁选机。

5.按照权利要求1的节水环保型硅晶片线切割用碳化硅微粉的制备方法，其特征在于步骤⑤中所述过滤机是橡胶带式真空过滤机。

6.按照权利要求1的节水环保型硅晶片线切割用碳化硅微粉的制备方法，其特征在于步骤⑤中所述多级旋流器，是12级旋流器。

7.按照权利要求1的节水环保型硅晶片线切割用碳化硅微粉的制备方法，其特征在于经步骤⑤排出的细粉粒度＜3.5μm。

8.按照权利要求1的节水环保型硅晶片线切割用碳化硅微粉的制备方法，其特征在于步骤⑥.中所述分散剂的主要成分为四甲基氢氧化铵、烷基醇胺或EDTA。