[发明专利]高精度气体检漏装置和方法

权利要求书

1.一种高精度气体检漏装置，其特征在于，包括：

混合气源容器，所述混合气源容器用于容纳检漏气体和检漏物质；

检测管，所述检测管的第一端与所述混合气源容器相连且所述检测管的第二端适于与待检件相连，所述混合气源容器和所述检测管中的至少一个上设有进气阀；

排气管，所述排气管的第一端与所述检测管相连且所述排气管的第一端位于所述进气阀与所述检测管的第二端之间，所述排气管上设有排气阀；

气压检测件，所述气压检测件与所述检测管的位于所述进气阀与所述检测管的第二端之间的部分相连；和

检漏器，所述检漏器适于邻近所述待检件用于检测所述检漏物质。

2.根据权利要求1所述的高精度气体检漏装置，其特征在于，所述混合气源容器包括：

检漏气体容器，所述检漏气体容器用于容纳所述检漏气体；

检漏物质容器，所述检漏物质容器用于容纳所述检漏物质；和

混合器，所述混合器分别与所述检漏气体容器、所述检漏物质容器和所述检测管的第一端相连。

3.根据权利要求2所述的高精度气体检漏装置，其特征在于，所述混合器内具有混合腔且所述混合腔具有第一进口、第二进口和出口，其中所述第一进口通过第一进气管与所述检漏气体容器相连，所述第二进口通过第二进气管与所述检漏物质容器相连，所述出口与所述检测管的第一端相连。

4.根据权利要求2所述的高精度气体检漏装置，其特征在于，所述混合器为三通管件，所述三通管件的第一支管与所述检漏气体容器相连，所述三通管件的第二支管与所述检漏物质容器相连，所述三通管件的第三支管与所述检测管的第一端相连。

5.根据权利要求3、4所述的高精度气体检漏装置，其特征在于，所述进气阀包括检漏气体阀和检漏物质阀，所述检漏气体阀设在所述第一进气管或所述第一支管上，所述检漏物质阀设在所述第二进气管或所述第二支管上。

6.根据权利要求3、4所述的高精度气体检漏装置，其特征在于，所述进气阀包括检漏气体阀、检漏物质阀和混合气阀，所述检漏气体阀设在所述第一进气管或所述第一支管上，所述检漏物质阀设在所述第二进气管或所述第二支管上，所述混合气阀设在所述检测管上。

7.根据权利要求4所述的高精度气体检漏装置，其特征在于，所述第二支管上设有单向阀。

8.根据权利要求4所述的高精度气体检漏装置，其特征在于，所述三通管件还包括文丘里管，所述文丘里管的第一端与所述第一支管相连且所述文丘里管的第二端与所述第三支管相连，所述第二支管与所述文丘里管的喉部相连。

9.根据权利要求1所述的高精度气体检漏装置，其特征在于，所述气压检测件包括：

压力传感器，所述压力传感器设在所述检测管上且位于所述进气阀与所述检测管的第二端之间；和

气压检漏单元，所述气压检漏单元与所述压力传感器相连用于对所述压力传感器的检测信号进行分析。

10.根据权利要求1-9中任一项所述的高精度气体检漏装置，其特征在于，所述检漏物质为卤素气体或氦气。

11.一种利用根据权利要求1-10中任一项所述的高精度气体检漏装置进行检漏的方法，其特征在于，包括：

A）将待检件连接到所述检测管的第二端上，然后打开所述进气阀且关闭所述排气阀以便将所述混合气源容器内的检漏气体和检漏物质输入所述待检件内；和

B）关闭所述进气阀，利用所述气压检测件检测所述检测管的压力，如果所述检测管的压力变化，则所述待检件存在泄漏点，如果所述检测管的压力不变，则利用所述检漏器对所述待检件进行检漏。