[发明专利]悬臂伺服机械手有效
| 申请号： | 201210426383.X | 申请日： | 2012-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN102909600A | 公开（公告）日： | 2013-02-06 |
| 发明（设计）人： | 陈华轩;景建平;唐志稳;朱晓伟 | 申请（专利权）人： | 苏州凯蒂亚半导体制造设备有限公司 |
| 主分类号： | B23Q7/04 | 分类号： | B23Q7/04;B25J9/02;B25J15/08 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 马明渡 |
| 地址： | 215121 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 悬臂 伺服 机械手 | ||
1.一种悬臂伺服机械手，其特征在于：由机架、X轴向驱动机构、Y轴向驱动机构、Z轴向驱动机构以及两工件夹爪组成；其中，
所述Y轴向驱动机构包括两条Y轴向导轨、一Y轴向丝杠螺母机构以及Y轴向伺服电机；所述两Y轴向导轨沿Y轴向并列设置于机架上；所述Y轴向丝杠螺母机构中的丝杠平行设于两Y轴向导轨之间，且其一端与所述Y轴向伺服电机的输出轴传动连接；
所述X轴向驱动机构包括一X轴向基座、一X轴向导轨、一X轴向丝杠螺母机构以及X轴向伺服电机；X轴向基座为长条形，以其长度方向沿X轴向布置；X轴向基座的一端经所述Y轴向导轨相对机架滑动连接，且与Y轴向丝杠螺母机构中的螺母固定连接，而另一端延伸成悬臂状；所述X轴向导轨和X轴向丝杠螺母机构中的丝杠平行并列，并沿X轴向设置于X轴向基座上；所述X轴向丝杠螺母机构中的丝杠的一端与X轴向伺服电机的输出轴传动连接；
所述Z轴向驱动机构包括一Z轴向基座以及Z轴向驱动气缸；所述Z轴向基座经所述X轴向导轨相对X轴向基座滑动连接，且与X轴向丝杠螺母机构中的螺母固定连接；所述Z轴向驱动气缸设有两个，沿所述X轴向导轨对称设于Z轴向基座上的两端，每个Z轴向驱动气缸的作用杆沿Z轴向伸出与一工作夹爪连接。
2.根据权利要求1所述悬臂伺服机械手，其特征在于：所述工件夹爪包括两个杆状爪头以及夹紧气缸，两个杆状爪头平行并列设置，夹紧气缸作用在两个杆状爪头上，驱动两个杆状爪头相靠拢或分离完成夹取动作。
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