[发明专利]基于复合微进给轴驱动的超长工件直线度检测装置

权利要求书

1.一种基于复合微进给轴驱动的超长工件直线度检测装置，包括实验台床身、测试台支架、驱动装置、数控系统，其特征在于：所述实验台床身上面两侧分别通过导轨支架（2）固定连接导轨（1），导轨（1）上面通过滑动配合连接滑台（22），导轨（1）一侧设有测试台支架（4），测试台支架（4）上装有第一至第四激光干涉仪（5，6，7，8），滑台（22）前端面上装有由垂直直线电机和水平直线电机组成的驱动装置，位于垂直直线电机动子上、下，左、右侧分别设有第一至第四反射镜（18、19、20、21），第三反射镜（20）一侧装有激光位移传感器（27），第一至第四激光干涉仪（5，6，7，8）分别将各自发出的激光束经第一至第四反射镜（18、19、20、21）反射回到自身的激光干涉仪内；数控系统接受水平和垂直两个方向上的激光干涉仪的数据，得到导轨直线度在水平和垂直方向的偏离方向及偏离量，并向驱动单元发出移动信号，驱动单元给垂直直线电机和水平直线电机发出脉冲信号，垂直直线电机和水平直线电机移动对垂直和水平方向两个方向上的直线度误差进行纠正。

2.根据权利要求1所述的基于复合微进给轴驱动的超长工件直线度检测装置，其特征在于：所述驱动装置包括垂直直线电机动子（13）、垂直直线电机导轨（14）、水平直线电机动子（15）、水平直线电机导轨（16），垂直直线电机导轨（14）固定在水平方向直线电机动子（15）上；垂直直线电机导轨（14）和水平直线电机导轨（16）上均安装有光栅尺。

3.根据权利要求1所述的基于复合微进给轴驱动的超长工件直线度检测装置，其特征在于：所述测试台支架包括工件支架（23）、夹具（24），若干个夹具（24）中间放置被测工件（25），且夹具（24）可沿工件支架（23）上下移动。

4.根据权利要求1所述的基于复合微进给轴驱动的超长工件直线度检测装置，其特征在于：所述激光位移传感器（27）通过传感器夹具（26）连接在垂直直线电机动子（13）左侧的激光干涉仪支架上。