[发明专利]光刻胶与显影液的恒温控制系统

说明书

技术领域

本发明涉及IC及LED行业，具体地说是一种光刻胶与显影液的恒温控制系统。

背景技术

在IC(集成电路)及LED(发光二极管)行业，需要进行大量的光刻胶涂覆和显影作业，而光刻胶与显影液的温度对光刻胶的涂覆和显影效果有直接影响。在IC及LED行业，为了提高产品良率，对光刻胶的膜厚，均匀性和显影的均匀性都有较高的要求。为了达到这种要求，就需要在进行光刻胶涂覆和显影作业时，保证光刻胶和显影液的温度。

发明内容

针对上述问题，本发明的目的在于提供一种光刻胶与显影液的恒温控制系统。该光刻胶与显影液的恒温控制系统使光刻胶与显影液从喷头喷出时温度恒定，并且可以根据工艺要求调整温度，从而减小温度对光刻胶涂覆和显影的影响，达到提高产品良率的目的。

为了实现上述目的，本发明采用以下技术方案：

一种光刻胶与显影液的恒温控制系统，包括恒温水控制装置、双层套管组件及喷嘴，其中双层套管组件设有两个双层管路，每个双层管路的内层管路一端均设有喷嘴，另一端均为药液入口，每个双层管路的外层管路与喷嘴同侧的一端相互连通，两个外层管路与药液进口同侧的另一端分别设有恒温水入口II和恒温水出口II，所述恒温水控制装置的恒温水入口I和恒温水出口I通过管路分别与双层套管组件的恒温水出口II和恒温水入口II连接，形成恒温水回路，内层管路浸泡在恒温水中，通过热交换控制内层管路中光刻胶与显影液的温度。

所述双层套管组件包括套管连接件I、套管连接件II、套管连接件III及两个套管内管和套管外管，其中两个套管内管分别设置于两个套管外管内，所述套管内管外壁与套管外管的内壁之间留有间隙，形成两个所述双层管路，每个双层管路的一端分别通过套管连接件I和套管连接件II将套管内管和套管外管连接，两个双层管路的另一端通过套管连接件III连接，所述套管连接件III上设有贯通两个套管外管的通孔，所述套管连接件I和套管连接件II上分别设有与套管外管连通的恒温水入口II和恒温水出口II；每个套管内管的一端均穿出套管连接件III设有喷嘴，另一端分别穿出套管连接件I、套管连接件II为药液入口端。

所述套管连接件I和套管连接件II结构相同，其上均设有阶梯孔，所述套管内管穿过该阶梯孔、并与小直径孔密封连接，阶梯孔的大直径端的端部沿轴向向外延伸形成接头，所述接头的内径大于套管内管的直径，接头的外壁与套管外管的内壁密封连接，所述套管连接件I和套管连接件II的侧壁上分别设有与阶梯孔的大直径端连通的恒温水入口II和恒温水出口II。

所述阶梯孔的小直径孔端部设有容置密封机构的沉孔，所述密封机构包括密封压块和密封圈II，其中密封圈II套设于套管内管上、并设置于沉孔的底部，所述密封圈II通过密封压块压紧。

所述套管连接件III上设有两个阶梯孔，每个阶梯孔内均穿过套管内管，每个套管内管均与阶梯孔的小直径孔密封配合，两个阶梯孔的大直径孔底部相互贯通、并端口部分别沿轴向向外延伸形成两个接头，每个接头的内径大于套管内管的直径、并外壁与套管外管的内壁密封连接。

所述套管连接件III上的两个阶梯孔的小直径端均设有沉孔，所述喷嘴容置于该沉孔内、并与套管内管连接，喷嘴与沉孔的底部之间设有套设于套管内管上的密封圈I。所述各药液进口端均设有阀门。

本发明的优点及有益效果是：

1.本发明通过恒温控制器产生恒温水，恒温水在外层管路中循环，内层管路中为光刻胶或显影液，通过内层管路和外层管路之间进行热交换达到控制光刻胶与显影液温度的目的。

2.本发明具有结构简单、安装方便、响应时间快，控温精度高等特点。

3.本发明能通过对恒温控制器温度的设定来改变光刻胶与显影液出口温度。

4.本发明在光刻胶与显影液流动过程中进行控温，不占用设备工作时间。

附图说明

图1为本发明的原理图；

图2为本发明的套管及密封结构图。

其中：1为冷却水入口，2为冷却水出口，3为阀门I，4为阀门II，5为套管连接件I，6为套管连接件III，7为套管连接件II，8为恒温水入口I，9为恒温水出口I，10为恒温水控制装置，11为喷头固定座，12为密封圈I，13为喷嘴，14为恒温水入口II，15为入口密封座，16为药液入口I，17为出口密封座，18为密封压块，19为药液入口II，20为密封圈II，21为恒温水出口II，22为套管内管，23为套管外管。

具体实施方式

下面结合附图对本发明作详细描述。