[发明专利]用于多层图案的印刷的闭环反馈控制的方法和装置

权利要求书

1.一种太阳能电池形成方法，其包括如下步骤：

将第一衬底定位在第一印刷站的衬底接收表面上；

将第一图案化层印刷在所述第一衬底的区域上；

获取所述第一图案化层的第一图像并将所述第一图像存储在缓冲器中；

将所述第一衬底转移到第二印刷站的衬底接收表面；

将第二图案化层印刷在所述第一衬底的所述区域上；

获取所述第二图案化层的第二图像；以及

使用所述第一图像和所述第二图像执行闭环计算步骤，以确定所述第二图案化层与所述第一图案化层的对准。

2.如权利要求1所述的方法，进一步包括：

将上面设置有所述第一图案化层的第二衬底定位在所述第二印刷站的衬底接收表面上；以及

在执行所述闭环计算步骤之后将第二图案化层印刷在所述第一图案化层上。

3.如权利要求2所述的方法，进一步包括：

将第三图案化层印刷在所述第二衬底上的所述第二图案化层上，其中使用从所述闭环计算步骤接收到的信息将所述第三图案化层在所述第二图案化层上对准。

4.如权利要求3所述的方法，其中所述第二图案化层和所述第三图案化层包括金属材料。

5.如权利要求3所述的方法，进一步包括：

使用从所述闭环计算步骤接收到的信息，在印刷所述第三图案化层之前对准所述衬底。

6.如权利要求1所述的方法，其中所述第一图像包括光学图像。

7.如权利要求6所述的方法，其中所述光学图像被作为数字数据存储在控制单元中，所述数字数据包括所述第一图案化层的位置的坐标。

8.如权利要求7所述的方法，其中所述数字数据被传输到设置于所述第二印刷站中的对准设备。

9.如权利要求1所述的方法，其中获取所述第一图像进一步包括用电磁辐射来照射第一表面。

10.如权利要求1所述的方法，其中获取所述第一图像进一步包括用电磁辐射来照射所述衬底的第二表面，所述第二表面与第一表面相反。

11.一种太阳能电池形成方法，其包括如下步骤：

将衬底定位在印刷站的衬底接收表面上；

将第一图案化层印刷在所述衬底的区域上；

获取所述第一图案化层的第一光学图像并将所述第一光学图像存储在缓冲器中；

将第二图案化层印刷在所述衬底的所述区域上，其中使用从获取的所述第一光学图像接收到的信息来将所述第二图案化层在所述衬底的所述区域上对准；以及

获取所述第二图案化层的第二光学图像。

12.如权利要求11所述的方法，进一步包括：

将第三图案化层印刷在所述第二图案化层上，其中使用从获取的所述第一光学图像或获取的所述第二光学图像接收到的信息来将所述第三图案化层在所述第二图案化层上对准。

13.如权利要求12所述的方法，进一步包括：

在印刷所述第二图案化层或所述第三图案化层之前，对准所述衬底。

14.如权利要求13所述的方法，其中在所述印刷站中执行所述衬底的对准。

15.如权利要求13所述的方法，其中所述印刷站包括执行所述第一图案化层的印刷的第一印刷站，并且在第二印刷站中执行所述第二图案化的印刷。

16.如权利要求15所述的方法，其中在所述第二印刷站中执行所述衬底的对准。

17.一种太阳能电池形成方法，其包括如下步骤：

将第一衬底定位在第一印刷站的衬底接收表面上；

将第一图案化层印刷在所述第一衬底的区域上；

获取所述第一图案化层的第一图像；

将所述第一图像存储在缓冲器中；

将所述第一衬底转移到第二印刷站的衬底接收表面；

将第二图案化层印刷在所述第一衬底的所述区域上，其中使用从获取的所述第一图像接收到的信息来将所述第二图案化层在所述衬底的所述区域上对准；

获取所述第二图案化层的第二图像；以及

将所述第二图像存储在所述缓冲器中。