[发明专利]一种光程微调结构及其应用结构

权利要求书

1.一种光程微调结构，其特征在于：包括沿入射光路依次设置的用于分离入射光与反射光的光路分离机构、聚光元件和MEMS平面反射镜；所述MEMS平面反射镜的反射平面与该光程微调结构光轴垂直，并可沿光轴方向移动。

2.如权利要求1所述一种光程微调结构，其特征在于：所述光路分离机构包括偏振分束棱镜和旋光元件；所述旋光元件为45°法拉第旋光器或四分之一波片，设于偏振分束棱镜与聚光元件之间。

3.如权利要求2所述一种光程微调结构，其特征在于：所述偏振分束棱镜为PBS或YVO4双折射晶体棱镜。

4.如权利要求1所述一种光程微调结构，其特征在于：所述光路分离机构为全反射元件，用于将入射光反射进入微调结构和/或将MEMS平面反射镜的反射光再次反射输出微调结构，并与入射光路分离。

5.如权利要求4所述一种光程微调结构，其特征在于：所述全反射元件为全反射棱镜、平面反射镜或平面反射镜对。

6.如权利要求1所述一种光程微调结构，其特征在于：所述聚光元件为聚焦透镜或自聚焦透镜。

7.一种迈克尔逊干涉装置，包括两干涉光路支臂，其特征在于：所述两支臂由权利要求1-6任一项所述的光程微调结构构成。

8.一种马赫曾德干涉装置，包括一分束器和一合束器，其特征在于：在分束器与合束器之间的两子光路中都设有权利要求1-6任一项所述的光程微调结构。

9.一种激光腔结构，包括谐振腔和增益介质，其特征在于：还包括权利要求1-6任一项所述的光程微调结构，置于谐振腔中用于调谐腔长。

10.如权利要求9所述一种激光腔结构，其特征在于：所述激光腔为平行腔结构或环形腔结构。