[发明专利]一种咪唑啉型缓蚀剂及缓蚀体系的制备方法无效
| 申请号： | 201210421966.3 | 申请日： | 2012-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN103012271A | 公开（公告）日： | 2013-04-03 |
| 发明（设计）人： | 张淑芬 | 申请（专利权）人： | 陕西启源科技发展有限责任公司 |
| 主分类号： | C07D233/04 | 分类号： | C07D233/04;C23F11/16;C23F11/14 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 710065 陕西省西安市高新区沣*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 咪唑 啉型缓蚀剂 体系 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.咪唑啉型缓蚀剂的制备方法，其特征在于包括将棕榈酸、二乙烯三胺和二甲苯混合均匀，在160℃下回流，至分水器中出现水分后开始升温至180～220℃并反应4～10 h，减压蒸发，得到咪唑啉中间体；将咪唑啉中间体油浴加热，加入改性剂反应一定时间，最后加水稀释。
2.如权利要求2所述的咪唑啉型缓蚀剂的制备方法，其特征在于棕榈酸与二乙烯三胺的摩尔比为2：25。
3.如权利要求1或2所述的咪唑啉型缓蚀剂的制备方法，其特征在于棕榈酸与二乙烯三胺的摩尔总量与二甲苯的体积比为9mol：1L。
4.一种咪唑啉型缓蚀体系的制备方法，其特征在于包括将权利要求1所述的咪唑啉型缓蚀剂与硫脲按质量比为1：1混合均匀。
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