[发明专利]气浮静重式微型测力传感器标定装置

权利要求书

1.气浮静重式微型测力传感器标定装置，其特征在于：该装置包括底座（1）、安装座（2）、砝码盘（3）、气浮轴承（4）、轴承固定座（5）、轴承调整装置和精密气压调节装置（13）；所述的安装座（2）设置在底座（1）上，在安装座（2）的两边竖直方向分别设置有导轨（10），所述的轴承调整装置包括摇动手柄（6）、齿轮箱（7）、丝杆（8）和竖直滑座（9），摇动手柄（6）通过轴与齿轮箱（7）内的齿轮传动连接，所述的丝杆（8）也与齿轮箱（7）内的齿轮传动连接，丝杆（8）的下部通过螺纹穿设在竖直滑座（9）的内侧，所述的竖直滑座（9）的两个侧边分别设有滑槽（11），滑槽（11）分别设置在所述的导轨（10）上，所述的轴承固定座（5）固定设置在竖直滑座（9）的外侧端，气浮轴承（4）设置在轴承固定座（5）上，气浮轴承（4）与所述的精密气压调节装置（13）通过管路相连接，所述的砝码盘（3）设置在气浮轴承（4）的上；并在气浮轴承（4）正下方设置有标定平台（15），标定平台（15）上设置有传感器设置位（16）。

2.根据权利要求1所述的气浮静重式微型测力传感器标定装置，其特征在于：精密气压调节装置（13）的前端管路上还设置有气体过滤装置（14），精密气压调节装置（13）与气体过滤装置（14）均固定设置在安装座（2）的侧壁上，气体过滤装置（14）的过滤精度小于等于5μm。

3.根据权利要求1所述的气浮静重式微型测力传感器标定装置，其特征在于：竖直滑座（9）的外侧端设有向外凸出的连接平台（12），连接平台（12）与竖直滑座（9）通过螺栓固定连接，所述的轴承固定座（5）通过螺栓固定设置在连接平台（12）上。

4.根据权利要求1所述的气浮静重式微型测力传感器标定装置，其特征在于：标定平台（15）为桥式结构，所述的传感器设置位设置在标定平台（15）的桥面上，标定平台（15）的两端分别设有固定槽（19），所述的底座（1）的前端设有凹口，所述的标定平台（15）通过固定槽（19）设置在凹口的两个侧边上。

5.根据权利要求1所述的气浮静重式微型测力传感器标定装置，其特征在于：底座（1）上设有可调支脚（18），并在底座（1）的上表面设有水准泡（17）。

6.根据权利要求1所述的气浮静重式微型测力传感器标定装置，其特征在于：安装座（2）的侧壁上还设置有砝码盒。