[发明专利]滤光器有效
| 申请号： | 201210418067.8 | 申请日： | 2009-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN102902061A | 公开（公告）日： | 2013-01-30 |
| 发明（设计）人： | 花村雄基;舟川刚夫;船坂司 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G02B26/00 | 分类号： | G02B26/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 刘建 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 滤光 | ||
【权利要求书】：
1.一种滤光器，其特征在于，具有：
第一基板；
第一反光镜，其形成于所述第一基板；
第二基板，其与所述第一基板接合；
第二反光镜，其形成于所述第二基板的与所述第一反光镜对置的位置；
第一电极，其形成于所述第一基板，在从厚度方向观察所述第一基板以及所述第二基板的俯视观察下形成于所述第一反光镜的周围；和
第二电极，其形成于所述第二基板，并形成于与所述第一电极对置的位置；
所述第一基板具有：第一铰链部；在俯视观察下形成于所述第一铰链部和所述第一反光镜之间的第二铰链部，
所述第二铰链部的梁宽比所述第一铰链部的梁宽窄。
2.根据权利要求1所述的滤光器，其特征在于，
在所述第一铰链部以及所述第二铰链部，分别形成多个梁。
3.根据权利要求1所述的滤光器，其特征在于，
所述第一铰链部的梁的个数与所述第二铰链部的梁的个数相同。
4.根据权利要求2所述的滤光器，其特征在于，
在俯视观察下，所述第一铰链部的所述梁在圆周上等间隔形成。
5.根据权利要求1所述的滤光器，其特征在于，
在所述俯视观察下，所述第二电极与所述第一铰链部重叠地形成。
6.根据权利要求1所述的滤光器，其特征在于，
所述第二基板具有凹部，所述第二反光镜形成在所述凹部。
7.根据权利要求1～5中任一项所述的滤光器，其特征在于，
所述第一基板以及所述第二基板的任意一者是半导体材料。
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