[发明专利]一种复合热障涂层及其制备方法无效
| 申请号: | 201210414397.X | 申请日: | 2012-10-25 |
| 公开(公告)号: | CN102925871A | 公开(公告)日: | 2013-02-13 |
| 发明(设计)人: | 梁工英;祝超;丁秉钧;王铁军;虞烈 | 申请(专利权)人: | 西安交通大学 |
| 主分类号: | C23C14/58 | 分类号: | C23C14/58;C23C14/08;C23C14/35;C23C4/18;C23C4/12;C23C4/10 |
| 代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人: | 徐文权 |
| 地址: | 710049 *** | 国省代码: | 陕西;61 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 复合 热障 涂层 及其 制备 方法 | ||
1.一种复合热障涂层的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
a采用薄膜制备工艺,在陶瓷层表面上沉积一层R2O3薄膜,R为Nd,Sm,Eu,Gd或Tb中的一种或两种以上组合;
b将镀膜后的热障涂层陶瓷层置于电阻炉中,在空气条件下进行扩散烧结,使得在陶瓷层表面区域形成R2Zr2O7稀土锆酸盐陶瓷层。
2.如权利要求1所述复合热障涂层的制备方法,其特征在于,所述薄膜制备工艺包括等离子喷涂或磁控溅射。
3.如权利要求1所述复合热障涂层的制备方法,其特征在于,所述步骤a薄膜的沉积厚度是1-10μm。
4.如权利要求1所述复合热障涂层的制备方法,其特征在于,所述步骤b扩散烧结时间2-10小时,温度为1000-1400°C。
5.如权利要求2所述新型复合热障涂层的制备方法,其特征在于,所述等离子喷涂工艺条件为,电压74V,电流650A,R2O3送粉率60g·min-1,氩气流速2550L·h-1,氢气流速425L·h-1,喷涂距离80-150mm。
6.如权利要求2所述新型复合热障涂层的制备方法,其特征在于,所述磁控溅射工艺条件为,纯度99.99%以上的R2O3靶,靶材与工件表面的距离50mm,直流电源,功率25W,工作气体Ar气,压力0.16-0.3Pa,流速21-28sccm。
7.一种复合热障涂层,其特征在于:包括陶瓷层和粘结层,所述陶瓷层为质量分数为6-8%Y2O3的ZrO2陶瓷,该陶瓷表面涂覆有R2O3薄膜,R为Nd,Sm,Eu,Gd或Tb中的一种或两种以上组合,所述粘结层为MCrAlY合金体系,其中M表示Ni,Co,Fe或者它们的混合。
8.如权利要求7所述的复合热障涂层,其特征在于:所述粘结层中Al质量分数在8-12%。
9.如权利要求7所述的复合热障涂层,其特征在于:所述粘结层中,当M为Ni时,Ni,Cr,Al和Y的质量分数分别是69%,20%,10%和1%。
10.如权利要求7所述的复合热障涂层,其特征在于:所述粘结层中,当M为Ni和Co混合物时,Ni,Co,Cr,Al和Y的质量分数分别是31%,31%,25%,12%和1%。
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