[发明专利]有机EL器件制造装置

说明书

技术领域

本发明涉及有机EL（Electro-Luminescence）设备制造装置，尤其涉及在成膜时等能够适当地保持基板的有机EL器件制造装置。

背景技术

作为制造有机EL器件的有效方法具有真空蒸镀法。真空蒸镀法是在真空处理室中，在使基板与面罩重合的状态下暴漏于处理气体中，实施蒸镀处理的方法。另外，近年来，处理基板大型化，G6世代的基板尺寸是1500mm×1800mm。为了与这种大型基板对应，在垂直地保持基板面的状态下暴漏于处理气体中，进行实施蒸镀处理的工作。在下述专利文献1中公开了在垂直地保持基板面的状态下实施蒸镀处理的技术。

如上所述，在真空处理室内以垂直地保持基板面的状态实施蒸镀处理的场合，为了进行稳定的蒸镀处理，需要稳定地保持基板，为了稳定地保持基板，需要设置能够可靠地保持基板的基板保持机构。但是，在真空处理室内设置用于基板保持的促动器（动作装置）的场合，由于粉尘等，有可能污染有机EL器件。因此，期望不在真空处理室内设置用于基板保持的促动器而可靠地保持基板。

现有技术文献

专利文献1：日本特开2010-086956号公报

发明内容

本发明的目的在于提供不必在真空处理室内设置用于基板保持的促动器而能够可靠地保持基板的有机EL器件制造装置。

为了实现上述目的，在本发明的有机EL器件制造装置中，具备：

设在真空处理室内并用于载置基板的基板支架；

用于从设在上述真空处理室外的基板搬运机接受基板的、在上述真空处理室内沿垂直方向竖立设置并固定的基板支承销；

使上述基板支架相对于上述基板支承销升降的基板支架升降机构；

设在上述基板支架的端部，并用于将基板保持在上述基板支架上的基板保持机构；以及

用于从上述基板保持机构释放基板的、在上述真空处理室内沿垂直方向竖立设置并固定的夹具开闭销，

上述基板保持机构具有将基板推压到上述基板支架上的板状的基板夹具、支撑上述基板夹具的夹具支撑金属件、以上述基板夹具将基板推压到上述基板支架上的方式加力的弹簧，

上述夹具支撑金属件能以水平方向的第一轴为中心进行旋转动作，具有从上述第一轴延伸的第一臂与第二臂，上述基板夹具的一端固定在上述第一臂的端部，在上述第二臂的端部设有能以水平方向的第二轴为中心进行旋转动作的旋转部，连接上述第一轴与上述两个臂的端部的直线是形成三角形的形状，

在上述基板支承销从设在上述真空处理室外的基板搬运机接受基板的状态下，利用上述夹具开闭销推起上述第二臂的旋转部，连接上述第一臂与第二臂的直线为大致水平的状态且上述基板夹具为大致垂直的状态，在将上述接受了的基板载置在上述基板支架上的状态下，连接上述第一臂与第二臂的直线为大致垂直的状态且上述基板夹具为大致水平的状态，为上述基板夹具将基板推压到上述基板支架上的状态。

本发明的效果如下。

根据本发明，能够提供不必在真空处理室内设置用于基板保持的促动器而能够可靠地保持基板的有机EL器件制造装置。

附图说明

图1是表示本发明的实施方式的有机EL器件制造装置的图。

图2是表示本发明的实施方式的搬运室与处理室的结构的概要的图。

图3是本发明的实施方式的搬运室与处理室的结构的示意图与动作说明图。

图4是表示本发明的实施方式的动作流程的图。

图5是表示本发明的实施方式的在基板接受状态下的基板保持机构的图。

图6是表示本发明的实施方式的在基板保持状态下的基板保持机构的图。

图7是表示本发明的实施方式的基板旋转机构及基板密合机构的图。

图8是表示本发明的实施方式的对准部的结构的图。

图9是表示本发明的实施方式的基板面罩固定机构的实施例的图，是在图7在添加了上述实施例的图。