[发明专利]一种加速度计摆片平桥的蚀刻方法有效
| 申请号： | 201210414161.6 | 申请日： | 2012-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN102923962A | 公开（公告）日： | 2013-02-13 |
| 发明（设计）人： | 袁枫;张兰;刘英;吴艳;秦淑斌;郭琳瑞;周峰 | 申请（专利权）人： | 航天科工惯性技术有限公司 |
| 主分类号： | C03C15/00 | 分类号： | C03C15/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100070 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 加速度计 摆片平桥 蚀刻 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种加速度计摆片平桥的蚀刻方法，其特征在于通过以下步骤实现：
第一步，配制腐蚀液；
第二步，估算蚀刻速率；
第三步，蚀刻窗口参考面；
利用第一步配制的腐蚀液在摆片坯料的双面同一位置上蚀刻三个窗口图形，窗口图形蚀刻深度为摆片平桥设计厚度d的一半，即d/2；
第四步，同时蚀刻平桥和窗口，
利用第一步配制的腐蚀液对三个窗口和平桥部位一同进行蚀刻，蚀刻时对三个窗口部位进行观察，当三个窗口部位被蚀刻穿后，即三个窗口部位形成通孔后停止蚀刻，此时即形成两个独立的平桥结构，平桥的厚度为d；
第五步，激光修边。
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