[发明专利]平面度检测装置

权利要求书

1.一种平面度检测装置，用于检测待测薄片因翘曲变形产生的平面度误差是否超过预设的极限值；所述平面度检测装置包括载物台，所述载物台上设有第一基准平面以承载待测薄片，其特征在于：所述平面度检测装置还包括滑动设置于载物台上的检测件，所述检测件上设有与第一基准平面平行的第二基准平面，所述待测薄片可以选择性地位于第二基准平面远离第一基准平面的一侧和靠近第一基准平面的一侧，所述第二基准平面和第一基准平面之间的距离根据所述极限值、以及待测薄片和第二基准平面之间的位置关系设置，以使待测薄片的平面度误差超过所述极限值时，待测薄片可以随着检测件的移动而被第二基准平面推动。

2.如权利要求1所述的平面度检测装置，其特征在于：当待测薄片位于第二基准平面远离第一基准平面的一侧时，第二基准平面与第一基准平面的距离设置为待测薄片距离第一基准平面的高度与所述极限值的一半之差。

3.如权利要求1所述的平面度检测装置，其特征在于：当待测薄片位于第二基准平面靠近第一基准平面的一侧时，待测薄片位于第二基准平面和第一基准平面之间；第二基准平面与第一基准平面之间的距离设置为待测薄片距离第一基准平面的高度、待测薄片的厚度与所述极限值的一半之和。

4.如权利要求1所述的平面度检测装置，其特征在于：所述平面度检测装置还包括位移传感器和控制箱，所述位移传感器用于侦测待测薄片相对位移传感器的位移量并产生相应的电信号；所述控制箱根据所述电信号运算出相应的位移量。

5.如权利要求4所述的平面度检测装置，其特征在于：所述控制箱包括中央处理器和提示单元，所述中央处理器将待测薄片相对位移传感器的位移量与一个预设值进行比较，若所述位移量未达到预设值，则中央处理器控制提示单元处于第一提示状态以表示待测薄片的平面度误差合格；若所述位移量达到预设值，则中央处理器控制提示单元处于第二提示状态以表示待测薄片的平面度误差不合格。

6.如权利要求1所述的平面度检测装置，其特征在于：所述载物台上设有滑槽，所述检测件上设有与所述滑槽对应的滑块，所述滑块在滑槽内滑动以使所述检测件在载物台上滑动。

7.如权利要求1所述的平面度检测装置，其特征在于：所述检测件包括第一检测部件和第二检测部件，所述第二基准平面设置于第一检测部件上，所述第二检测部件设有与第一基准平面平行的第三基准平面；所述待测薄片位于第二基准平面与第三基准平面之间，且距离第一基准平面预定高度；所述第二基准平面与第一基准平面的距离设置为所述预定高度、待测薄片的厚度与极限值的一半之和；第三基准平面与第一基准平面的距离设置为所述预定高度与极限值的一半之差。

8.如权利要求7所述的平面度检测装置，其特征在于：所述第一检测部件设有第一操作部及设置于第一操作部一侧的缺口，所述第一操作部的侧面与所述缺口相接触，所述第一操作部用于带动所述第一检测部件在载物台上滑动。

9.如权利要求8所述的平面度检测装置，其特征在于：所述第二检测部件上设有第二操作部，所述第二操作部可以穿过所述缺口与第一操作部抵接以使第一检测部件停止滑动，所述第二操作部用于带动所述第二检测部件在载物台上滑动。

10.如权利要求7所述的平面度检测装置，其特征在于：所述第一基准平面上设有限位块，所述限位块用于防止第二检测部件在第一检测部件的推力下翘起。