[发明专利]晶棒粘接装置及晶棒粘接方法无效
申请号: | 201210403075.5 | 申请日: | 2012-10-19 |
公开(公告)号: | CN102873777A | 公开(公告)日: | 2013-01-16 |
发明(设计)人: | 于新现;李斗;张杰 | 申请(专利权)人: | 西安神光安瑞光电科技有限公司 |
主分类号: | B28D7/00 | 分类号: | B28D7/00 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 郑玮 |
地址: | 710100 陕西省西安*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 晶棒粘接 装置 方法 | ||
1.一种晶棒粘接装置,其特征在于,包括:平台;设置于所述平台上的粘接台;设置于所述平台上的导向台;以及多个固定所述晶棒的固定夹,所述多个固定夹能够沿着导向台运动。
2.如权利要求1所述的晶棒粘接装置,其特征在于,所述导向台包括方箱及固定于所述方箱上的第一线轨。
3.如权利要求1所述的晶棒粘接装置,其特征在于,所述固定夹包括外固定块、设置于所述外固定块中的内固定块、以及连接外固定块与内固定块的连接螺丝。
4.如权利要求3所述的晶棒粘接装置,其特征在于,所述连接螺丝为内六角沉头螺丝。
5.如权利要求3所述的晶棒粘接装置,其特征在于,所述固定夹还包括连接外固定块与内固定块的微分头。
6.如权利要求1所述的晶棒粘接装置,其特征在于,还包括设置于所述平台上的限位螺杆,所述固定夹运动到一定位置后,固定于所述限位螺杆上。
7.如权利要求6所述的晶棒粘接装置,其特征在于,还包括限位螺母,所述固定夹通过所述限位螺母固定于所述限位螺杆上。
8.如权利要求1所述的晶棒粘接装置,其特征在于,还包括设置于平台上的第二线轨,所述粘接台或者所述导向台能够沿着所述第二线轨运动。
9.一种晶棒粘接方法,其特征在于,包括:
利用多个固定夹固定多根晶棒,其中,每个固定夹固定一根晶棒;
每个固定夹沿着导向台运动到一定位置后停止;
粘接台粘接多个固定夹中的多根晶棒。
10.如权利要求9所述的晶棒粘接方法,其特征在于,每个固定夹沿着导向台中的第一线轨运动。
11.如权利要求9所述的晶棒粘接方法,其特征在于,利用多个固定夹固定多根晶棒包括:
将晶棒置于内固定块中;
利用连接螺丝将晶棒固定于内固定块中,同时紧固内固定块与外固定块。
12.如权利要求11所述的晶棒粘接方法,其特征在于,利用多个固定夹固定多根晶棒还包括:利用连接螺丝将晶棒固定于内固定块中,同时紧固内固定块与外固定块之后,
利用微分头调整内固定块的角度,以调整晶棒的角度。
13.如权利要求9所述的晶棒粘接方法,其特征在于,还包括:每个固定夹沿着导向台运动到一定位置后停止之后,粘接台粘接多个固定夹中的多根晶棒之前,
固定夹通过限位螺母固定于限位螺杆上。
14.如权利要求13所述的晶棒粘接方法,其特征在于,还包括:固定夹通过限位螺母固定于限位螺杆上之后,粘接台粘接多个固定夹中的多根晶棒之前,
粘接台或者导向台沿着第二线轨运动。
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