[发明专利]一种套刻误差测量装置及方法

权利要求书

1.一种套刻误差测量装置，其特征在于，包括：

宽波段光源，产生宽波段的测量光束；

分束镜，所述分束镜位于所述测量光束的光路径上，使所述测量光束折转；

物镜，所述物镜接收并汇聚所述折转后的测量光束使其正入射到套刻测量标记上，同时收集从套刻测量标记上衍射的衍射光；

第一探测器，所述第一探测器探测经所述物镜收集并经所述分束镜透射的衍射光的衍射光谱。

2.如权利要求1所述的套刻误差测量装置，其特征在于，所述汇聚后的测量光束中心光线垂直于所述套刻测量标记，边缘光线与所述中心光线具有小于30°的夹角。

3.如权利要求2所述的套刻误差测量装置，其特征在于，所述边缘光线与所述中心光线具有小于20°的夹角。

4.如权利要求1所述的套刻误差测量装置，其特征在于，所述宽波段光源的波段包括可见光波段、紫外波段及红外波段。

5.如权利要求1所述的套刻误差测量装置，其特征在于，所述宽波段光源为氙灯、氘灯及卤素灯的一种或多种的组合。

6.如权利要求1所述的套刻误差测量装置，其特征在于，所述第一探测器上显示测得的衍射光谱。

7.如权利要求1所述的套刻误差测量装置，其特征在于，所述第一探测器为二维阵列探测器。

8.如权利要求1所述的套刻误差测量装置，其特征在于，所述第一探测器位于所述物镜的瞳面。

9.如权利要求1所述的套刻误差测量装置，其特征在于，所述第一探测器位于所述物镜的瞳面的光学共轭面。

10.如权利要求1所述的套刻误差测量装置，其特征在于，所述套刻误差测量装置还包括起偏器，所述起偏器位于宽波段光源和分束镜之间的光路径上，所述起偏器产生偏振测量光束。

11.如权利要求10所述的套刻误差测量装置，其特征在于，所述偏振测量光束为TE模的偏振测量光束。

12.如权利要求10所述的套刻误差测量装置，其特征在于，所述偏振测量光束为TM模的偏振测量光束。

13.如权利要求1所述的套刻误差测量装置，其特征在于，所述套刻误差测量装置还包括依次排列在宽波段光源和分束镜之间的光路径上的滤光装置、中继镜组及可变孔径光阑。

14.如权利要求13所述的套刻误差测量装置，其特征在于，所述滤光装置为干涉式的滤波片。

15.如权利要求13所述的套刻误差测量装置，其特征在于，所述滤光装置为单色仪。

16.如权利要求13所述的套刻误差测量装置，其特征在于，所述滤光装置为声光调制器。

17.如权利要求13所述的套刻误差测量装置，其特征在于，所述滤光装置包括带通滤光片。

18.如权利要求1所述的套刻误差测量装置，其特征在于，所述套刻误差测量装置还包括反射镜、成像系统及第二探测器，所述反射镜位于分束镜和第一探测器之间的光路径上，耦合出0级衍射光，并经所述成像系统成像到第二探测器上。

19.如权利要求18所述的套刻误差测量装置，其特征在于，所述第二探测器位于所述物镜瞳面的光学共轭面上。