[发明专利]等离子体设备及工件位置检测方法有效

专利信息
申请号: 201210401876.8 申请日: 2012-10-19
公开(公告)号: CN103779165A 公开(公告)日: 2014-05-07
发明(设计)人: 李谦 申请(专利权)人: 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
主分类号: H01J37/32 分类号: H01J37/32;H01L21/66
代理公司: 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 代理人: 彭瑞欣;张天舒
地址: 100176 北京*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 等离子体 设备 工件 位置 检测 方法
【权利要求书】:

1.一种等离子体设备,包括反应腔体,以及位于反应腔体之内的静电卡盘、顶针和位于反应腔体外的电源,所述静电卡盘用于承载所述待加工的工件,其特征在于,所述等离子体设备还包括用于检测工件位置的传感器、结果判断单元、以及结果处理单元,其中,所述传感器包括发送模块以及与所述发送模块对应的接收模块;

所述发送模块,用于向所述工件发送感测信号;

所述接收模块,用于接收来自所述工件的感测信号;

所述结果判断单元,根据所述传感器的感测信号判断所述工件是否被所述顶针正常顶起;

所述结果处理单元,根据所述结果判断单元的判断结果执行处理流程。

2.根据权利要求1所述的等离子体设备,其特征在于,

所述发送模块具体用于向所述工件的上表面发送感测信号,以使所述感测信号被所述工件反射;

所述接收模块具体用于接收被所述工件的上表面反射之后的感测信号。

3.根据权利要求2所述的等离子体设备,其特征在于,所述发送模块的发送方向与对应的接收模块的接收方向位于第一平面上,且所述发送方向与所述接收方向的交点位于被所述顶针正常顶起的工件的上表面,且所述第一平面垂直于所述上表面;

其中,所述发送方向为发送模块发送感测信号的方向,所述接收方向为对应的接收模块接收反射后的感测信号的方向。

4.根据权利要求3所述的等离子体设备,其特征在于,所述发送模块和接收模块的数目均为N个,N为大于2的正整数,且所述发送模块与所述接收模块分别一一对应。

5.根据权利要求4所述的等离子体设备,其特征在于,各个发送模块的发送方向与对应的接收模块的接收方向分别位于N个第一平面上,且N个第一平面彼此相交于所述反应腔室的中轴线,并且各个第一平面与相邻的第一平面之间的夹角分别相等。

6.根据权利要求4所述的等离子体设备,其特征在于,各个发送模块的发送方向与对应的接收模块的接收方向分别位于N个第一平面上,且N个第一平面彼此平行。

7.根据权利要求1所述的等离子体设备,其特征在于,所述接收模块直接接收所述发送模块发送的感测信号;其中,

所述发送模块的发送方向与对应的接收模块的接收方向在同一直线上,且所述直线平行于被所述顶针正常顶起的工件的上表面,所述直线高于所述上表面且所述直线与所述上表面之间的距离小于一预定值;其中,所述发送方向为发送模块发送感测信号的方向,所述接收方向为对应的接收模块接收反射后的感测信号的方向。

8.根据权利要求7所述的等离子体设备,其特征在于,所述发送模块和接收模块的数目均为N个,N为大于2的正整数,且所述发送模块与所述接收模块分别一一对应。

9.根据权利要求8所述的等离子体设备,其特征在于,各个发送模块的发送方向与对应的接收模块的接收方向分别位于N条直线上,其中

所述N条直线互相平行;或,

所述N条直线相交于一点,并且各个相邻的直线之间的夹角均相等。

10.根据权利要求1至9中任一项所述的等离子体设备,其特征在于,所述结果判断单元根据所述感测信号判断所述工件是否被顶针正常顶起具体为,当所述接收模块接收到感测信号时,判断所述工件被顶针正常顶起;当所述接收模块未接收到感测信号时,判断所述工件没有被顶针正常顶起。

11.根据权利要求10所述的等离子体设备,其特征在于,所述结果处理单元包括异常处理模块和正常处理模块,所述异常处理模块用于当结果判断单元判断所述工件未被正常顶起时发出报警信息,所述正常处理模块用于当结果判断单元判断所述工件被正常顶起时按照正常工艺流程进行后续工艺过程直至完成整个工艺。

12.根据权利要求11所述的等离子体设备,其特征在于,所述传感器为激光对射式传感器或红外式传感器。

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