[发明专利]一种电磁驱动调变齿间隙的微机电梳齿机构

权利要求书

1.一种电磁驱动调变齿间隙的微机电梳齿机构，其特征在于：该微机电梳齿机构包括左移电磁执行器、右移电磁执行器、由左移定齿（103）和右移定齿（104）组成的定齿、动齿、两个第一锚区（112）和绝缘衬底（100），其中，

所述的左移电磁执行器与左移定齿（103）的一端连接，左移定齿（103）的另一端连接在第一锚区（112）上，右移电磁执行器与右移定齿（104）的一端连接，右移定齿（104）的另一端连接在第一锚区（112）上；

所述的左移定齿（103）包括第一宽梁（107）、左移梳齿（108）、两个沿横向弯折的第一折叠梁（111），左移梳齿（108）固定在第一宽梁（107）的一侧，第一宽梁（107）的一端与左移电磁执行器连接，第一宽梁（107）的另一端通过两个第一折叠梁（111）连接在两个第一锚区（112）上；左移定齿（103）处于悬空状态；

所述的右移定齿（104）包括第二宽梁（109）、右移梳齿（110）、两个沿横向弯折的第二折叠梁（113），右移梳齿（110）固定在第二宽梁（109）的一侧，第二宽梁（109）的一端与右移电磁执行器连接，第二宽梁（109）的另一端通过两个第二折叠梁（113）连接在两个第一锚区（112）上，且第二折叠梁（113）和第一折叠梁（111）在第一锚区（112）上相对；右移定齿（104）处于悬空状态；

所述的两个第一锚区（112）固定连接在绝缘衬底（100）上；

所述的动齿包括质量块（105）、动齿梳齿（106）、两个第二锚区（115）和两个沿纵向弯曲的第三折叠梁（114），两个第二锚区（115）固定在绝缘衬底（100）上，每个第二锚区（115）与一个第三折叠梁（114）的一端连接，第三折叠梁（114）的另一端与质量块（105）连接，动齿梳齿（106）设置在质量块（105）的一侧，且右移梳齿（110）、动齿梳齿（106）和左移梳齿（108）依次交替布置，相邻的右移梳齿（110）和动齿梳齿（106）之间的距离等于相邻的动齿梳齿（106）和左移梳齿（108）之间的距离；质量块（105）、动齿梳齿（106）、和第三折叠梁（114）均处于悬空状态；

所述的左移定齿（103）的第一宽梁（107）上设有左移止挡块（116），右移定齿（104）的第二宽梁（109）上设有右移止挡块（117），左移止挡块（116）和右移止挡块（117）相对，且左移止挡块（116）和右移止挡块（117）之间的距离小于相邻的右移梳齿（110）和动齿梳齿（106）之间设计距离的两倍。

2.根据权利要求1所述的电磁驱动调变齿间隙的微机电梳齿机构，其特征在于：所述的右移电磁执行器包括第一直梁（102）、两个沿横向弯曲的第四折叠梁（120）和两个第三锚区（121），两个第三锚区（121）固定在绝缘衬底（100）上，每个第三锚区（121）分别与一根第四折叠梁（120）的一端连接，第四折叠梁（120）的另一端与第一直梁（102）连接，第一直梁（102）和第四折叠梁（120）处于悬空状态，两个第三锚区（121）上分别设有一个第一金属块（122），第一直梁（102）上设有一根第一金属线（118），第一金属线（118）的两端分别与一个第一金属块（122）连接，第二宽梁（109）的一端固定连接在第一直梁（102）的中部。

3.根据权利要求1所述的电磁驱动调变齿间隙的微机电梳齿机构，其特征在于：所述的左移电磁执行器包括第二直梁（101）、两个沿横向弯曲的第五折叠梁（124）和两个第四锚区（125），两个第四锚区（125）固定在绝缘衬底（100）上，每个第四锚区（125）分别与一根第五折叠梁（124）的一端连接，第五折叠梁（124）的另一端与第二直梁（101）连接，第二直梁（101）和第五折叠梁（124）处于悬空状态，两个第四锚区（125）上分别设有一个第二金属块（123），第二直梁（101）上设有一根第二金属线（119），第二金属线（119）的两端分别与一个第二金属块（123）连接，第一宽梁（107）的一端固定连接在第二直梁（101）的中部。

4.按照权利要求1、2或3所述的电磁驱动调变齿间隙的微机电梳齿机构，其特征在于：所述的左移梳齿（108）与第一宽梁（107）相垂直，右移梳齿（110）与第二宽梁（109）相垂直，质量块（105）与动齿梳齿（106）相垂直。