[发明专利]掩膜板、制造有机发光显示面板的蒸镀装置及其方法

说明书

技术领域

本发明涉及显示技术领域，具体而言涉及一种掩膜板、制造有机发光显示面板的蒸镀装置及其方法。

背景技术

有机发光显示面板（Organic Light-Emitting Diode，OLED）是一种自主发光的显示面板，其具备结构简单、省电等特性。

目前，制备有机发光显示面板的过程中，掩膜板（Shadow Mask）是其中不可缺少的一个辅助元件，图1是现有技术中掩膜板的结构示意图，图2是图1所示掩膜板的开口区的示意图。参阅图1和图2，掩膜板100包括呈阵列状分布的多个开口区110，每一开口区110呈圆角矩形，且相邻的两个圆角R之间的区域为成膜不保证区120。

在使用掩膜板100蒸镀形成有机发光显示面板的有机发光层时，由于蒸镀源与不同位置的开口区110具有的角度差异，极易使得蒸镀源提供的有机发光材料在对应成膜不保证区120处的成膜填充率不足，从而导致有机发光显示面板的有机发光层的每一发光区在对应成膜不保证区120处形成高度H1为15微米以上的成膜无效区，进而降低有机发光显示面板的开口率。

综上所述，有必要提供一种掩膜板、制造有机发光显示面板的蒸镀装置及其方法，以解决上述问题。

发明内容

本发明主要解决的技术问题是提供一种掩膜板、制造有机发光显示面板的蒸镀装置及其方法，以降低成膜无效区的面积，提高有机发光显示面板的开口率。

为解决上述技术问题，本发明采用的一个技术方案是：提供一种掩膜板，包括呈阵列状分布的多个开口区，每一开口区包括呈矩形设置的第一开口区以及设置于第一开口区的四个角的第二开口区，第二开口区与第一开口区连通。

其中，第二开口区是与第一开口区连通的侧翼，侧翼设置的宽度沿着远离第一开口区的方向逐渐减小。

其中，第二开口区采用蚀刻或电铸工艺成型，且与第一开口区一体成型。

为解决上述技术问题，本发明采用的另一个技术方案是：提供一种制造有机发光显示面板的蒸镀装置，包括：掩膜板，包括呈阵列状分布的多个开口区，且每一开口区包括呈矩形设置的第一开口区以及设置于第一开口区的四个角的第二开口区，第二开口区与第一开口区连通；蒸镀源，间隔设置于掩膜板远离基板的一侧，用于为基板提供有机发光材料，以形成有机发光层；以及加热装置，用于加热蒸镀源。

其中，蒸镀装置设置于真空且密闭的空间内。

其中，第二开口区是与第一开口区连通的侧翼，侧翼设置的宽度沿着远离第一开口区的方向逐渐减小。

其中，第二开口区采用蚀刻或电铸工艺成型，且与第一开口区一体成型。

为解决上述技术问题，本发明采用的又一个技术方案是：提供一种制造有机发光显示面板的蒸镀方法，包括：提供一掩膜板，掩膜板包括呈阵列分布的多个开口区，且每一开口区包括呈矩形设置的第一开口区以及设置于第一开口区的四个角的第二开口区，第二开口区与第一开口区连通；提供一基板，与掩膜板相邻贴合设置；在真空且密闭的空间内，通过掩膜板的开口区向基板提供有机发光材料形成有机发光层，有机发光材料由设置于掩膜板远离基板一侧的蒸镀源提供。

其中，第二开口区采用蚀刻或电铸工艺成型。

其中，第二开口区与第一开口区一体成型。

本发明的有益效果是：区别于现有技术，本发明通过在掩膜板的矩形第一开口区的侧翼设置第二开口区，将成膜不保证区的圆角对成膜填充率的影响转移到第二开口区，提高了第一开口区在蒸镀成膜时的成膜填充率，从而降低了成膜无效区的面积，进而提高了有机发光显示面板的开口率。

附图说明

图1是现有技术中掩膜板的结构示意图；

图2是图1所示掩膜板的开口区的示意图；

图3是本发明掩膜板的结构示意图；

图4是图3所示掩膜板的开口区的示意图；

图5是本发明制造有机发光显示面板的蒸镀装置的结构示意图；

图6是本发明制造有机发光显示面板的蒸镀方法的流程图；

图7是本发明制造有机发光显示面板的蒸镀方法的实施效果示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明进行详细说明。

图3是本发明掩膜板的结构示意图，图4是图3所示掩膜板的开口区的示意图。参阅图3和图4，掩膜板300包括呈阵列状分布的多个开口区310。