[发明专利]一种应用化学气相沉积技术的纳米电热板及其制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种应用化学气相沉积技术的纳米电热板及其制造方法，属于P或N型半导体发热技术范畴。 

背景技术

纳米电热板作为一种面电阻发热元件，其电热转换效率高达95％以上，加热速度快，受热均匀，同时具有远红外辐射加热功能。以公开号为CN1529534A的发明专利公开了一种电热膜及其制造方法，该电热膜处理液配比(质量百分比)为：A：四氯化锡，40～50；B：三氯化钛，30～40；C：三氯化锑，0.1～0.3；D：二氯化钙，0.1～0.3；E：异丙醇，2～3；F：乙醇，10～13；G：纯水，2～5。其不足之处是最高工作温度仅仅为450℃，应用范围相对比较狭窄，且这种电热膜制造过程中需要多次重复喷入电热膜处理液，工程繁琐、常温电阻大、效率低。 

发明内容

本发明所需要解决的技术问题是：针对现有电热板及其制造过程存在的问题，提供一种工作效率高、受热均匀、升温快而高、应用广泛的纳米电热板，其工艺简单、操作方便、使用安全、成本低。 

为了解决上述技术问题，本发明是通过以下的技术方案实现的。 

本发明电热纳米膜溶液配方按重量百分比为： 

A：四氯化锡            5.5～17 

B：四氯化钛            2.2～8.9 

C：三氯化钛            2.2～8.9 

D：三氯化铁            22～50 

E：三氯化锑            0.55～0.9 

F：二氯化钙            0.55～0.9 

G：氯化钾              1～4.5 

H：氯化镉              2.2～8.9 

I：二氧化锡            3.2～11 

J：氢氟酸              3.2～8.9 

K：硼酸                0.2～1.1 

L：乙醇                5.5～17 

M：异丙醇              4.3～8.9 

N：纯水                22～50 

按重量百分比量取上述原料搅拌加热，制成电热纳米膜溶液，应用化学气相沉积技术将溶液负压喷雾在纳米电热板表面，然后在纳米电热板半成品的任意两对边距离边缘15mm的位置表面涂上氧化银浆，送入电极加热炉经300～550℃烧结，使氧化银浆完全还原成银电极与电热纳米膜层熔合一体即成为纳米电热板成品。 

上述纳米电热板的制造方法如下： 

1.电热纳米膜溶液的制造： 

按重量百分比量取四氯化锡、四氯化钛、三氯化钛、三氯化铁、三氯化锑、二氯化钙、氯化钾、氯化镉、二氧化锡、氢氟酸、硼酸、乙醇、异丙醇和纯水放入混合加热机的容器里搅拌加热到60～80℃，且搅拌均匀，使溶质完全溶解于溶剂中，然后在一定条件下使之冷却到-2～0℃，经过滤便得到 电热纳米膜溶液。 

2.纳米电热板半成品的制造： 

在加热炉内加热使炉温升至为500～850℃，纳米电热板放进炉内加热，应用化学气相沉积技术将溶液喷雾在纳米电热板表面使之形成一层P或N型多晶态半导体薄膜，此时纳米电热板半成品就制造出来了。 

3.纳米电热板成品的制造： 

在上述纳米电热板的半成品的任意两对边距离边缘15mm的位置表面涂上氧化银浆，送入电极加热炉经300～550℃烧结，使氧化银浆完全还原成银电极与电热纳米膜层熔合一体即成为纳米电热板成品，该层状银电极的厚度很薄，其单位为微米量级，宽约为10mm。 

本发明纳米电热板为普通玻璃、普通陶瓷、搪瓷、云母、石英玻璃、微晶玻璃、微晶陶瓷或碳化硅，其选择丰富多样。 

本发明所述化学气相沉积技术是在负压情况下将电热纳米膜溶液一次性喷雾到纳米电热板表面，电热纳米膜溶液在高温条件下完全汽化并发生化学反应，产生化学气相沉积现象，在纳米电热板表面沉积产生晶粒形成一层P或N型多晶态半导体薄膜。