[发明专利]一种调节装置及等离子体加工设备有效

专利信息
申请号: 201210394979.6 申请日: 2012-10-17
公开(公告)号: CN103770126A 公开(公告)日: 2014-05-07
发明(设计)人: 张鹏 申请(专利权)人: 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
主分类号: B25J19/00 分类号: B25J19/00;B25J9/00;H01J37/32
代理公司: 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 代理人: 彭瑞欣;张天舒
地址: 100176 北京*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 调节 装置 等离子体 加工 设备
【权利要求书】:

1.一种调节装置,用于调节第一部件和第二部件的相对位置,其特征在于,包括第一调节组件和第二调节组件,

所述第一调节组件包括调节块,所述调节块的一端与所述第一部件固定连接,所述调节块的另一端设有第一螺纹;

所述第二调节组件包括固定部件和调节单元,所述固定部件与所述第二部件固定连接;

所述调节单元由所述固定部件支撑并可相对于所述固定部件旋转,在所述调节单元上设有与所述第一螺纹相互啮合的第二螺纹;旋转所述调节单元可使所述调节块相对于所述第二部件的位置发生变化,从而使所述第一部件和所述第二部件的相对位置发生变化。

2.根据权利要求1所述的调节装置,其特征在于,所述第一调节组件还包括螺钉,在所述调节块靠近所述第一螺纹的一端设有长槽,而且所述长槽贯穿所述调节块的厚度;

在所述第二部件上且与所述长槽相对的位置设有螺纹孔,所述螺纹孔与所述螺钉配合,所述螺钉穿过所述长槽并紧固在所述螺纹孔内可将所述调节块固定在所述第二部件上,从而将所述第一部件和所述第二部件的相对位置固定。

3.根据权利要求1所述的调节装置,其特征在于,所述固定部件包括本体,在所述本体的两端分别设有一垂直于所述本体的延伸部,或者所述固定部件包括两个叠置在一起的本体,在所述本体的两端分别设有一垂直于所述本体的延伸部,而且两个所述本体由紧固件固定在一起;

所述调节单元由所述延伸部支撑,在所述本体上设有贯穿其厚度的通孔,在所述第二部件上且与所述通孔相对的位置设有螺纹孔,利用穿过所述通孔的螺钉和所述螺纹孔将所述固定部件与所述第二部件固定连接。

4.根据权利要求3所述的调节装置,其特征在于,所述调节单元包括转轴、蜗杆和调节件,所述蜗杆嵌套在所述转轴的外侧,所述调节件设置在所述转轴的一端,旋转所述调节件使所述转轴和蜗杆旋转;

在所述固定部件的延伸部设有轴孔,所述转轴设置在所述轴孔内。

5.根据权利要求4所述的调节装置,其特征在于,所述第二调节组件还包括用于固定所述转轴的顶丝,

在所述延伸部设有与所述顶丝配合的顶丝孔,所述顶丝孔的孔心垂直于所述轴孔的孔心,借助所述顶丝从所述转轴的径向将所述转轴锁紧。

6.根据权利要求4所述的调节装置,其特征在于,所述调节件为手轮。

7.根据权利要求6所述的调节装置,其特征在于,所述转轴、所述蜗杆以及所述手轮为一体结构。

8.根据权利要求4所述的调节装置,其特征在于,所述调节件包括电机以及连接件,所述连接件一端与所述电机连接,所述连接件的另一端与所述转轴连接,借助所述电机驱动所述转轴旋转,以带动所述蜗杆旋转。

9.一种等离子体加工设备,包括用于直线传输被加工工件的单轴机器人以及调节装置,所述单轴机器人包括基座和大臂,在所述基座上设有轴套,在所述大臂上设有与所述轴套配合的大臂旋转轴,所述基座和所述大臂借助所述轴套和所述大臂旋转轴连接,其特征在于,所述调节装置采用权利要求1-8任意一项所述的调节装置,其中:第一部件是基座,第二部件是大臂。

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