[发明专利]可调式固定装置有效

专利信息
申请号: 201210392425.2 申请日: 2012-10-16
公开(公告)号: CN102879997A 公开(公告)日: 2013-01-16
发明(设计)人: 黄倍慈;翁照钦;萧智鸿;陈英杰 申请(专利权)人: 友达光电股份有限公司
主分类号: G03F1/64 分类号: G03F1/64
代理公司: 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 代理人: 聂慧荃;潘培坤
地址: 中国台*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 调式 固定 装置
【说明书】:

技术领域

发明涉及一种可调式固定装置,尤其涉及一种用以固定掩模的可调式固定装置。

背景技术

目前,有机发光二极管(organic light emitting diode,OLED)中的有机膜层多半采用热蒸镀方式镀膜,主要选用具磁性的金属来制作掩模(mask,遮罩),在掩模上蚀刻出细微的开口,于开口露出欲镀膜的位置。蒸镀时,以磁铁吸引掩模,使掩模与欲镀膜的基板紧密贴合,而在制作大面积掩模时,目前是将掩模制作成多个长条状掩模,再将每一条掩模施以拉伸张力,利用掩模上的细微开口对位,再焊接于框架上。

请参照图1至图3,图1为现有技术的掩模10固定于框架12上的俯视图,图2为五种产生扭曲变形的掩模10的示意图,图3为两种产生扭曲变形的框架12的示意图。如图1所示,多个长条状掩模10的两端施以拉伸张力F而分别焊接于框架12的两侧边上。由于现行掩模10是采用激光点焊方式焊接于框架12上,因此焊接速度相当慢,而随着焊接过程中掩模10的力平衡状态会逐渐改变,加上焊点的温度造成膨胀,导致掩模10会有偏移的状况发生,进而产生扭曲变形,如图2所示。此外,由于每一条掩模10加工质量不同,且是依序焊接于框架12上的不同位置,故掩模10的偏移会导致框架12产生不一样的应力分布,而产生扭曲形变,如图3所示。最后随着蒸镀次数增加,所有掩模10可能会产生不一样的偏移,甚至偏移量过大而无法使用。

发明内容

因此,本发明的目的之一在于提供一种可调式固定装置,其在框架上设置用以固定掩模的可调式固定机构,以在掩模产生偏移时对掩模进行调整。

根据一实施例,本发明的可调式固定装置用以固定一掩模,且可调式固定装置包含一框架以及两个可调式固定机构。两个可调式固定机构设置于框架的相对两侧,且每一个可调式固定机构包含一座体、两个支撑件、一固定件以及两个第一调整件。座体设置于框架上。两个支撑件可移动地设置于座体的相对两侧。固定件的两端分别固定于两个支撑件上,且掩模固定于固定件上。两个第一调整件对应两个支撑件设置于座体的相对两侧,且每一个第一调整件分别用以驱动两个支撑件的其中之一相对于框架前后移动。

在此实施例中,每一个可调式固定机构还可包含多个第二调整件,用以将座体固定于框架上。每一个第二调整件可分别相对于框架上下移动,以驱动座体相对于框架上下移动。

综上所述,本发明是在框架上设置可调式固定机构,并且将掩模固定于可调式固定机构的固定件上。在掩模产生前后偏移时,操作人员可操作第一调整件驱动支撑件相对于框架前后移动,以带动固定件相对于框架前后移动或转动,进而修正固定于固定件上的掩模的前后偏移量。此外,在掩模产生上下偏移时,操作人员可操作第二调整件驱动座体相对于框架上下移动,以带动固定件相对于框架上下移动,进而修正固定于固定件上的掩模的上下偏移量。因此,即可有效改善掩模的偏移情况,进而延长掩模与框架的使用寿命。

本发明的优点与精神可以通过以下的详述及附图得到进一步的了解。

附图说明

图1为现有技术的掩模固定于框架上的俯视图。

图2为五种产生扭曲变形的掩模的示意图。

图3为两种产生扭曲变形的框架的示意图。

图4为根据本发明一实施例的可调式固定装置的示意图。

图5为图4中的可调式固定装置于另一视角的示意图。

图6为掩模固定于图4中的可调式固定装置上的示意图。

图7为图4中的可调式固定机构于另一视角的示意图。

图8为图4中的可调式固定机构于另一视角的示意图。

图9为根据本发明另一实施例的可调式固定机构的示意图。

图10为根据本发明另一实施例的支撑件与固定件的示意图。

其中,附图标记说明如下:

3           可调式固定装置      10、30        掩模

12、32      框架                34、34'       可调式固定机构

340         座体                340a、340b    滑槽

342a、342b  支撑件              344           固定件

346a、346b  第一调整件          348           轴杆

350         第二调整件          352           弹性件

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