[发明专利]一种基于衍射孔阵列的微型光谱仪

权利要求书

1.一种基于衍射孔阵列的微型光谱仪，沿入射光方向依次包括：

入射光准直装置；

一层基底，采用透明材料制作；

一个构建在所述基底其中一个表面上的挡光层中的衍射孔二维阵列，所述挡光层由不透明材料制作，所述衍射孔二维阵列包括一系列具有不同孔径尺寸的衍射孔，且各衍射孔孔径尺寸与入射光波长接近，各衍射孔的深度与挡光层厚度相同； 

包括多个探测像素元的探测阵列芯片，所述探测阵列芯片的探测信号输出端与一计算分析部件连接；

其特征在于，所述衍射孔二维阵列中各个衍射孔与所述探测阵列芯片中的探测像素元的位置非一一对应。

2.如权利要求1所述基于衍射孔阵列的微型光谱仪，其特征在于，所述探测阵列芯片上表面安装有一层透明的防护玻璃，所述防护玻璃的上表面与所述衍射孔二维阵列相接触。

3.如权利要求1所述基于衍射孔阵列的微型光谱仪，其特征在于，所述衍射孔二维阵列中的衍射孔按照以下方式排布：小孔布置在中间而大孔布置在四周。

4.如权利要求1所述基于衍射孔阵列的微型光谱仪，其特征在于，所述入射光准直装置包括两个共焦的透镜以及设置在两个透镜共焦平面上的遮光板，遮光板上对应于两个透镜之间的共同焦点处设置有一透光孔。

5.如权利要求1所述基于衍射孔阵列的微型光谱仪，其特征在于，所述探测阵列芯片为CCD或CMOS探测阵列芯片。