[发明专利]薄片粘贴装置及粘贴方法、以及薄片制造装置及制造方法有效

专利信息
申请号: 201210391596.3 申请日: 2012-09-25
公开(公告)号: CN103035558A 公开(公告)日: 2013-04-10
发明(设计)人: 石原崇 申请(专利权)人: 琳得科株式会社
主分类号: H01L21/683 分类号: H01L21/683;H01L21/67
代理公司: 上海金盛协力知识产权代理有限公司 31242 代理人: 段迎春
地址: 日本国东京*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 薄片 粘贴 装置 方法 以及 制造
【权利要求书】:

1.一种薄片粘贴装置,包括:

送出单元,送出原料卷,该原料卷通过将在带状的基材片的一个面上具有粘合剂层的带状片经由该粘合剂层临时粘贴到带状剥离片上而成;

切割单元,在所述带状片上形成预定形状的切口,在该切口的内侧形成粘合片,并且在该切口的外侧形成无用片;

剥离单元,从该粘合片的送出方向前端部将临时粘贴在所述剥离片上的所述粘合片朝向该粘合片的内侧区域剥离;以及

按压单元,将所述粘合片按压粘贴到被粘接体上,

所述薄片粘贴装置的特征在于,

所述切割单元被设置成能够形成与所述粘合片的送出方向前端部对应的切口的深度比与所述粘合片的内侧区域对应的切口的深度深的切口。

2.根据权利要求1所述的薄片粘贴装置,其特征在于,

所述切割单元具备在带状片的厚度方向上具有高度的切割刀,该切割刀包括:高刀部,能够形成与所述粘合片的送出方向前端部对应的切口;以及低刀部,高度比所述高刀部低,能够形成所述粘合片的内侧区域。

3.根据权利要求2所述的薄片粘贴装置,其特征在于,

所述高刀部被设置在切割刀的多个位置上,各个高刀部被设置成能够选择性地配置在能够形成与所述粘合片的送出方向前端部对应的切口的位置上。

4.根据权利要求2或3所述的薄片粘贴装置,其特征在于,

所述送出单元与所述切割单元联动,相对于形成1张粘合片,利用所述高刀部进行多次切割。

5.根据权利要求1至4的任意一项所述的薄片粘贴装置,其特征在于,

还具有赋能单元,能够对被所述切割单元切割的区域的原料卷进行加热。

6.一种薄片粘贴方法,其特征在于,包括:

送出工序,送出原料卷,该原料卷通过将在带状的基材片的一个面上具有粘合剂层的带状片经由该粘合剂层临时粘贴到带状剥离片上而成;

切割工序,在所述带状片上形成预定形状的切口,在该切口的内侧形成粘合片,并且在该切口的外侧形成无用片;

剥离工序,从该粘合片的送出方向前端部将临时粘贴在所述剥离片上的所述粘合片朝向该粘合片的内侧区域剥离;以及

按压工序,将所述粘合片按压粘贴到被粘接体上,

在所述切割工序中,形成与所述粘合片的送出方向前端部对应的切口的深度比与所述粘合片的内侧区域对应的切口的深度深的切口。

7.一种薄片制造装置,其特征在于,包括:

送出单元,送出原料卷,该原料卷通过将在带状的基材片的一个面上具有粘合剂层的带状片经由该粘合剂层临时粘贴到带状剥离片上而成;以及

切割单元,在所述带状片上形成预定形状的切口,在该切口的内侧形成粘合片,并且在该切口的外侧形成无用片,

所述切割单元被设置成能够形成与所述粘合片的送出方向前端部及送出方向后端部的至少一方对应的切口的深度比与所述粘合片的内侧区域对应的切口的深度深的切口。

8.一种薄片制造方法,其特征在于,包括:

送出工序,送出原料卷,该原料卷通过将在带状的基材片的一个面上具有粘合剂层的带状片经由该粘合剂层临时粘贴到带状剥离片上而成;以及

切割工序,在所述带状片上形成预定形状的切口,在该切口的内侧形成粘合片,并且在该切口的外侧形成无用片,

在所述切割工序中,能够形成与所述粘合片的送出方向前端部及送出方向后端部的至少一方对应的切口的深度比与所述粘合片的内侧区域对应的切口的深度深的切口。

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