[发明专利]纳米氮化硅粉的生产方法有效
| 申请号： | 201210389798.4 | 申请日： | 2012-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN103072960A | 公开（公告）日： | 2013-05-01 |
| 发明（设计）人： | 赵登永;高书娟;潘经珊;陈钢强;王利平 | 申请（专利权）人： | 宁波广博纳米新材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C01B21/068 | 分类号： | C01B21/068;B82Y30/00 |
| 代理公司： | 宁波市鄞州甬致专利代理事务所(普通合伙) 33228 | 代理人： | 代忠炯 |
| 地址： | 315153 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 纳米 氮化 生产 方法 | ||
1.一种纳米氮化硅粉的生产方法，其特征在于，制备步骤如下：
（1）将硅原材料放入高温金属蒸发器坩埚中，检验设备的气密性合格后，对高温金属蒸发器坩埚内的硅原料进行加热，将硅熔化成液体；
（2）开启加料机，向高温金属蒸发器的坩埚内开始连续进料，进料速率为：2.2～4.5Kg/h；
（3）高温金属反应器坩埚中蒸发出来的硅蒸气进入粒子形成器，硅蒸气被充入粒子形成器的惰性气体冷却到固态，形成纳米硅粉，惰性气体和纳米硅粉进入氮化反应室，在氮化反应室内，纳米硅粉与氮化反应气体反应，形成纳米氮化硅粉；
（4）氮化反应室内纳米氮化硅粉与气体的混合物通过气固分离器分离后，氮化硅粉末被收集下来，得到氮化硅粉末，气体经过冷却后循环使用或排空；完成上述各步骤的设备组成的系统中的压力为0.05～0.1MPa。
2.根据权利要求1所述的纳米氮化硅粉的生产方法，其特征在于：所述的硅原料为粒状或小块状。
3.根据权利要求1所述的纳米氮化硅粉的生产方法，其特征在于：对高温金属蒸发器坩埚内的硅原料进行加热的加热源为等离子体转移弧。
4.根据权利要求1所述的纳米氮化硅粉的生产方法，其特征在于：所述的冷却气体为氩气。
5.根据权利要求1所述的纳米氮化硅粉的生产方法，其特征在于：所述步骤（3）中的氮化反应室内氮化反应温度为1000-1500℃。
6.根据权利要求1所述的纳米氮化硅粉的生产方法，其特征在于：所述的氮化反应气体为氮气或氨气或两者的混合气体。
7.根据权利要求1所述的纳米氮化硅粉的生产方法，其特征在于：系统压力为0.08～0.1MPa。
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