[发明专利]一种偏振无关窄带彩色滤光片及制作方法

权利要求书

1.一种偏振无关窄带彩色滤光片，其特征在于，从下到上包括基底层、两层薄膜层和一层光栅层，基底层为玻璃，两层薄膜层分别为透明导电膜和二氧化铪膜，最上面的光栅层为交替变化的光刻胶和入射介质。

2.根据权利要求1所述偏振无关窄带彩色滤光片，其特征在于，所述玻璃基底的折射率为1.47，透明导电膜和二氧化铪膜层作为波导层，其折射率分别为1.85和1.95，光栅层中光刻胶的占空比为0.35，折射率为1.6，入射介质为空气，折射率为1.0。

3.一种偏振无关窄带彩色滤光片的制作方法，其特征在于，具体包括如下步骤：

1）利用真空镀膜机在玻璃基底上蒸镀一层厚度为65-75nm的透明导电膜层；

2）在透明导电膜层上镀一层厚度为70-80nm的二氧化铪膜层；

3）利用旋涂机在二氧化铪膜层上旋涂厚度为98-106nm的光刻胶，通过显影曝光技术可得到光刻胶与入射介质交替的光栅结构，完成彩色滤光片的制作。