[发明专利]一种气体离子源进气实时控制系统

权利要求书

1.离子源进气实时控制系统，包括有离子源，其特征在于等离子体密度测量传感器伸入到离子源内部，离子流传感器的输出端与采样电路的输入端相连，采样电路的输出端与通过光纤与信号接收端相连，通过光纤，可以有效隔离高压对底部控制设备的影响；控制台采用工业控制计算机，它与A/D采集模块、网络模块和D/A输出模块通过PCI总线相连；D/A输出模块输出控制信号到电压/频率转换器的输入端，电压/频率转换器的输出端与频率/电压转换器的输入端通过光纤相连，频率/电压转换器的输出端连接到气体流量计电源驱动模块，气体流量计电源电源驱动模块控制气体离子源进气量的大小。

2.离子源进气实时控制方法，其特征在于包括以下步骤：

(a)、等离子体密度测量传感器伸入到离子源内部，等离子体密度测量传感器提供的信号通过转换电路输送到总控制台；

(b)、控制台工业控制计算机和A/D采集模块、网络模块和D/A输出模块之间通过PCI总线相连接，并管理这些模块；

(C)、工业控制计算机将反馈信号与网络模块设定的参考信号比较，将控制结果通过D/A输出模块转换为控制信号Vc，经过电压/频率转换器、光纤和频率/电压转换器传输到气阀电源驱动模块并实现与工业控制计算机的光纤隔离，气阀电源驱动模块根据控制信号Vc对安装在离子源上的可控气阀两端电压进行实时调节，进而实现对离子源进气量的实时调节。