[发明专利]基板定位工装

权利要求书

1.一种基板定位工装，用以对基板进行定位，所述定位工装包括主体部，所述主体部上开设有镂空部，所述镂空部配合所述基板的外形设置，其特征在于：所述主体部上还设有至少一个抵持部，所述抵持部凸伸于所述镂空部内并与所述基板的侧壁之间实现线接触。

2.根据权利要求1所述的基板定位工装，其特征在于：所述主体部于竖直方向开设有通孔，所述通孔连通于所述镂空部，所述抵持部设于所述通孔内且部分凸伸于所述镂空部内。

3.根据权利要求1所述的基板定位工装，其特征在于：所述主体部于竖直方向开设有通孔，所述通孔连通于所述镂空部，所述抵持部转动设于所述通孔内，所述抵持部在第一位置时凸伸入所述镂空部内，并在第二位置时收容于所述通孔内。

4.根据权利要求3所述的基板定位工装，其特征在于：所述抵持部为轴线位于竖直方向的圆柱体的一部分，包括相对的曲面和平面，在所述第一位置时，所述曲面凸伸入所述镂空部内并与基板的侧壁实现线接触，在所述第二位置时，所述平面面向所述镂空部。

5.根据权利要求3或4所述的基板定位工装，其特征在于：所述抵持部上还连接有驱动部，该驱动部用以驱动所述抵持部进行转动。

6.根据权利要求1所述的基板定位工装，其特征在于：所述抵持部为非金属材料。

7.根据权利要求6所述的基板定位工装，其特征在于：所述抵持部由聚四氟材料制成。