[发明专利]复合式可变流阻液静压滑块模块

权利要求书

1.一种复合式可变流阻液静压滑块模块，包含：

本体，其具有相对的安装面以及油室；

多个节流器，设置于该本体内，该多个节流器包括小孔节流器以及薄膜节流器，该小孔节流器与该薄膜节流器相互串联，工作流体由该安装面进入该本体，分流至该小孔节流器及该薄膜节流器，分流至该小孔节流器的工作流体再流入该油室。

2.如权利要求1所述的复合式可变流阻液静压滑块模块，其中该本体内设有串联流道以及第一腔室，该串联流道与该第一腔室相连通，且该串联流道的相对两端分别连接该小孔节流器以及该油室，该小孔节流器与该薄膜节流器通过该串联流道相互串联，该薄膜节流器具有薄膜以及第二腔室，该薄膜被夹设于该第一腔室与该第二腔室之间，该工作流体分流为第一工作流体以及第二工作流体，该第一工作流体依序流入该小孔节流器、该串联流道、该第一腔室至该油室，该第二工作流体流入该薄膜节流器，该第一工作流体与该第二工作流体所产生的液压分别作用于该薄膜的相对两面。

3.如权利要求2所述的复合式可变流阻液静压滑块模块，其中该串联流道由第一串联流道以及第二串联流道构成，该第一串联流道的相对两端分别连接该小孔节流器以及该第一腔室，该第二串联流道的相对两端分别连接该第一腔室以及该油室，该小孔节流器、该第一串联流道、该第一腔室、该第二串联流道以及该油室形成一通路。

4.如权利要求3所述的复合式可变流阻液静压滑块模块，其中该小孔节流器具有第一小孔，该薄膜节流器具有第二小孔，该第一工作流体由该第一小孔流入该第一串联流道，该第二工作流体由该第二小孔流入该第一腔室。

5.如权利要求4所述的复合式可变流阻液静压滑块模块，其中该安装面设有第一分流道以及第二分流道，该第一分流道与该第二分流道相互连接，该第一分流道相对于连接该第二分流道的一端连接该第一小孔，该第二分流道相对于连接该第一分流道的一端连接该第二小孔。

6.如权利要求5所述的复合式可变流阻液静压滑块模块，其中该第一分流道凹陷于该安装面一第一深度，该第二分流道凹陷于该安装面一第二深度，该第一深度大于该第二深度。

7.如权利要求5所述的复合式可变流阻液静压滑块模块，其中该本体设有多个螺孔，每一该螺孔提供设置一螺栓，以将该本体定位于一机台的平面，且该安装面朝向该平面。

8.如权利要求7所述的复合式可变流阻液静压滑块模块，其中于该机台设有一孔洞，于该安装面设有一密封元件，该密封元件环绕于该多个节流器以及该孔洞的外围，该孔洞连接于该第一分流道以及该第二分流道，该工作流体由该孔洞进入该本体与该平面之间并分流至该第一分流道与该第二分流道。

9.如权利要求2所述的复合式可变流阻液静压滑块模块，其中该薄膜是一具有挠性的金属材质薄片。