[发明专利]滑动粘附型压电致动器在审
申请号: | 201210382997.2 | 申请日: | 2012-10-10 |
公开(公告)号: | CN103227279A | 公开(公告)日: | 2013-07-31 |
发明(设计)人: | 徐焕受 | 申请(专利权)人: | 三星电子株式会社 |
主分类号: | H01L41/09 | 分类号: | H01L41/09;H01L41/047;H01L41/053 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 屈玉华 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 滑动 粘附 压电 致动器 | ||
1.一种压电致动器,包括:
固定主体;
可移动主体,布置为面对所述固定主体;以及
多个压电元件,布置在所述固定主体与所述可移动主体之间并以剪切模式操作,每个压电元件具有固定到所述固定主体的一端以及接触所述可移动主体的另一端,
其中所述多个压电元件的每个的极化方向彼此不同。
2.如权利要求1所述的压电致动器,其中所述多个压电元件的每个包括具有相反的极化方向的第一压电层和第二压电层。
3.如权利要求2所述的压电致动器,其中所述第一和第二压电层彼此堆叠。
4.如权利要求1所述的压电致动器,还包括弹性构件,该弹性构件具有接触所述固定主体的一端以及将所述可移动主体弹性挤压抵靠所述多个压电元件的另一端。
5.如权利要求1所述的压电致动器,其中磁体布置在所述可移动主体和所述固定主体中的至少一个上,所述可移动主体通过所述磁体的磁力来挤压抵靠所述多个压电元件。
6.如权利要求1所述的压电致动器,通过所述多个压电元件与所述可移动主体之间的滑动粘附操作而能够具有平移运动。
7.如权利要求1所述的压电致动器,其中所述多个压电元件的数目为三个或更多,所述极化方向为径向方向或垂直于所述径向方向的方向。
8.如权利要求1所述的压电致动器,其中所述可移动主体的接触所述多个压电元件的表面是弯曲表面,所述可移动主体通过所述多个压电元件而具有倾斜运动。
9.如权利要求8所述的压电致动器,还包括用于在所述弯曲表面的切线方向上支撑所述多个压电元件的支撑部。
10.如权利要求1所述的压电致动器,还包括用于检测所述可移动主体的位移的位移检测单元。
11.如权利要求10所述的压电致动器,其中所述位移检测单元包括多个电极,该多个电极布置在所述可移动主体和所述固定主体的彼此面对的表面上并用于根据所述可移动主体的位置的变化来检测所述多个电极之间的电容的变化。
12.一种压电致动器,包括:
固定主体;
可移动主体,布置为面对所述固定主体;以及
至少一个压电元件,布置在所述固定主体与所述可移动主体之间并以剪切模式操作,所述压电元件具有固定到所述固定主体的一端以及接触所述可移动主体的另一端,
其中所述至少一个压电元件的每个包括第一和第二压电单元,所述第一压电单元的极化方向和所述第二压电单元的极化方向彼此不同。
13.如权利要求12所述的压电致动器,其中所述第一和第二压电单元中的至少一个包括具有相反的极化方向的第一压电层和第二压电层。
14.如权利要求13所述的压电致动器,其中所述第一和第二压电层彼此堆叠。
15.如权利要求12所述的压电致动器,其中所述第一压电单元的极化方向和所述第二压电单元的极化方向彼此垂直。
16.如权利要求15所述的压电致动器,其中所述第一和第二压电单元彼此堆叠。
17.如权利要求12所述的压电致动器,其中所述可移动主体通过自身重力、弹性力和磁力中的至少一个而挤压抵靠所述至少一个压电元件。
18.如权利要求12所述的压电致动器,其中所述可移动主体的接触所述至少一个压电元件的表面是平坦表面。
19.如权利要求12所述的压电致动器,通过所述至少一个压电元件与所述可移动主体之间的滑动粘附操作而能够具有平移运动和旋转运动。
20.如权利要求12所述的压电致动器,其中所述可移动主体的接触所述至少一个压电元件的表面是弯曲表面,所述可移动主体通过所述至少一个压电元件而具有倾斜运动。
21.如权利要求20所述的压电致动器,其中用于在所述弯曲表面的切线方向上支撑所述至少一个压电元件的支撑部被提供在所述固定主体上。
22.如权利要求12所述的压电致动器,还包括用于检测所述可移动主体的位移的位移检测单元,其中所述位移检测单元包括布置在所述可移动主体和所述固定主体的彼此面对的表面上的多个电极。
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