[发明专利]一种新型离子轰击炉

权利要求书

1.一种新型离子轰击炉，其特征在于，包括炉体（4）、真空系统、供气系统、供电系统、冷却系统；所述炉体（4）包括弧形炉盖（3）、圆形炉筒（5）、炉底（6）、吊挂阴极输电装置（l）、堆放阴极输电装置（11）和底座（12）；在所述弧形炉盖（3）上，沿其轴线装有所述吊挂阴极输电装置（1），在所述弧形炉盖（3）的周围绕其轴线对称地还设计有多个吊挂阴极输电装置（l），所述吊挂阴极输电装置（l）呈等距离分布，组成炉体的圆形炉筒（5）设计成多段节，其侧壁采用多层复合隔热层结构，在每节圆形炉筒（5）的上端面的法兰（18）上还设计有可装O 型密封圈（26）的燕尾槽（23）和可装有用压力弹簧（29）支撑阳极连接柱（30）的阳极柱孔眼（24）；炉底设计成弧形结构，在弧形炉底（6）内侧的底部，设计有三个互成120 度角并通过阴极架（15）来支撑阴极盘（16）用的阴极座（14）；堆放阴极输电装置（11），通过炉底的侧壁而横置于阴极盘（16）下方，并与其不相接触，不承受重量，堆放阴极输电装置（11）在其金属内屏蔽套（51）和金属屏蔽套扛（44）之间所形成的气隙保护层（46）结构的外部，加有防溅套；吊挂阴极输电装置（1），是一个用金属连接螺母（45）通过十字阴极杆（4）端部的螺纹，将阴极导套（32）、十字阴极杆（4）、包围十字阴极杆的绝缘层、防溅套（5），密封垫（38）和气隙保护层（46）紧固在一起而形成一个整体刚性结构；真空接头、供气管接头（1）、冷却管接头和热电偶，均设计在弧形炉底（6）的侧面；构成阴极输电装置气隙保护层（46）两侧的构件均是金属构件。

2.根据权利要求1 所述的一种新型离子轰击炉，其特征在于：圆形炉筒（5）其侧壁所采用的多层复合隔热层是水冷层(21）与真空层(19），或水冷层与空气层(20），或水冷层与填料层(25）的双层复合隔热层结构，或者采用水冷层(21）与真空层、空气层或水冷层与空气层、填料层，或水冷层与真空层、填料层所组成的三层复合隔热层结构。

3.根据权利要求1 所述的一种新型离子轰击炉，其特征在于：吊挂阴极输电装置(1）和堆放阴极输电装置(11）在伸进炉内端的端部均装有导电架(47） 。

4.根据权利要求1 和3 所述的一种新型离子轰击炉，其特征在于：吊挂阴极输电装置(1）的气隙保护结构，由增加刚性作用的金属连接螺母(45）与金属屏蔽套(44）所构成，并在其外侧加有防溅套(50）。

5.根据权利要求1 所述的一种新型离子轰击炉，其特征在于；放置在阴极座(14）上面的阴极架(15）装有支撑螺栓(58），该阴极架(15）是用支撑座(60）与作为阳极的弧形炉底(6）绝缘的防溅构件。