[发明专利]气体泄漏检测器

权利要求书

1.一种气体泄漏检测器，具备：吸气泵，抽吸从被检测对象泄漏的采样气体和作为测定基准的参考气体；热传导型的气体检测传感器，能够测定基于所述抽吸气体的热传导率的电阻值的变化；以及单元块，内部具有能够导入所述抽吸气体的单元；所述单元开口有抽吸气体导入路径和气体排出路径，通过所述气体检测传感器的输出能够检测泄漏气体，所述气体泄漏检测器的特征在于：

所述单元是能够导入两种抽吸气体的单一空间，该单元的相对的一个对向侧面分别开口有两个抽吸气体导入路径和单一的气体排出路径，该气体排出路径的开口部配置在所述两个抽吸气体导入路径的开口部之间，同时，两个所述气体检测传感器配置在与单元的另一个对向侧面同一平面上，并且配置在各抽吸气体导入路径的开口部与气体排出路径的开口部之间，所述单元块中配置有与气体排出路径的开口部连通的吸气泵。

2.根据权利要求1所述的气体泄漏检测器，其特征在于，

所述单元块的内部形成有相互连通的切割槽和凹槽，在能够卡合在所述切割槽中的传感器基板上连接有传感器芯片，该传感器芯片收纳在所述凹槽中，所述单元被划分形成在该传感器芯片与所述凹槽之间。

3.根据权利要求1所述的气体泄漏检测器，其特征在于，

所述单元形成为俯视矩形。

4.根据权利要求1所述的气体泄漏检测器，其特征在于，

所述单元内的两个抽吸气体导入路径的开口部配置在与所述气体排出路径的开口部等距离的位置上。

5.根据权利要求1所述的气体泄漏检测器，其特征在于，

各气体能够从所述两个抽吸气体导入路径的开口部向所述气体检测传感器或气体排出路径的开口部移动。

6.根据权利要求4所述的气体泄漏检测器，其特征在于，

所述两个气体检测传感器在所述抽吸气体导入路径的开口部与气体排出路径的开口部之间，被配置在与该两个抽吸气体导入路径的开口部分别等距离的位置上。

7.根据权利要求1所述的气体泄漏检测器，其特征在于，

所述两个抽吸气体导入路径的开口部、两个气体检测传感器以及气体排出路径的开口部配置成俯视V字形。

8.根据权利要求1所述的气体泄漏检测器，其特征在于，

所述气体泄漏检测器设置有单元薄片，该单元薄片形成有：与所述两个抽吸气体导入路径的开口部连通的两个通孔、与所述气体排出路径的开口部连通的通孔、以及与各通孔连通的单元通路，该单元薄片被密封配置在所述单元中。

9.根据权利要求8所述的气体泄漏检测器，其特征在于，

所述单元薄片的与所述抽吸气体导入路径的开口部连通的两个通孔以与所述气体排出路径的开口部连通的通孔为中心配置在对称位置上。

10.根据权利要求8所述的气体泄漏检测器，其特征在于，

所述单元通路形成为俯视V字形。

11.根据权利要求8所述的气体泄漏检测器，其特征在于，

所述两个气体检测传感器面对所述单元薄片的与所述抽吸气体导入路径的开口部连通的两个通孔和与所述气体排出路径的开口部连通的通孔之间的单元通路而配置。

12.根据权利要求1所述的气体泄漏检测器，其特征在于，

所述气体检测传感器由微加热器构成。

13.根据权利要求1所述的气体泄漏检测器，其特征在于，

所述吸气泵由压电膜驱动型的微泵构成，该膜能够高频振动。

14.根据权利要求1所述的气体泄漏检测器，其特征在于，

所述气体泄漏检测器能够增减对所述气体检测传感器的外加电流。