[发明专利]旋转显影真空管路中的简易气液分离装置有效

专利信息
申请号: 201210380881.5 申请日: 2012-10-09
公开(公告)号: CN103706189A 公开(公告)日: 2014-04-09
发明(设计)人: 李晓飞;王冲 申请(专利权)人: 沈阳芯源微电子设备有限公司
主分类号: B01D45/06 分类号: B01D45/06;B01D45/02;G03F7/30
代理公司: 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 代理人: 白振宇
地址: 110168 辽*** 国省代码: 辽宁;21
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 旋转 显影 真空 管路 中的 简易 分离 装置
【权利要求书】:

1.一种旋转显影真空管路中的简易气液分离装置,其特征在于:包括筒体(1)、筒盖(3)及活动塞(4),其中筒体(1)的一端与筒盖(3)密封连接,另一端开有排液口(13),所述活动塞(4)插设在排液口(13)内,通过活动塞(4)沿筒体(1)轴向往复移动控制排液口(13)的开关;所述筒盖(3)上分别开有进气口(7)及排气口(8),筒盖(3)上沿筒体(1)轴向向筒体(1)延伸、形成竖隔板(9),所述竖隔板(9)上沿径向设有横隔板,该隔板上开有供气液介质通过的通孔(12);气液介质通过横隔板折流分离,液体经过通孔(12),由排液口(13)排出。

2.按权利要求1所述旋转显影真空管路中的简易气液分离装置,其特征在于:所述横隔板的上表面为斜面。

3.按权利要求1或2所述旋转显影真空管路中的简易气液分离装置,其特征在于:所述横隔板分为上下设置的第一横隔板(10)及第二横隔板(11),其中第一横隔板(10)的一端与所述竖隔板(9)连接一体,另一端与所述筒体(1)的内壁留有供气液介质通过的间隙(15);所述第二隔板(11)的一端与竖隔板(9)连接,另一端与所述筒体(1)的内壁抵接,在第二隔板(11)上、靠近第二隔板(11)的一端沿筒体(1)的轴向开有通孔(12)。

4.按权利要求3所述旋转显影真空管路中的简易气液分离装置,其特征在于:所述第一横隔板(10)与第二横隔板(11)的下表面相平行、且平行于筒体(1)的底面,第一横隔板(10)与第二横隔板(11)的上表面均为斜面,其中第一横隔板(10)由其一端向另一端倾斜,第二横隔板(11)由其另一端向一端倾斜。

5.按权利要求3所述旋转显影真空管路中的简易气液分离装置,其特征在于:所述第一横隔板(10)与第二横隔板(11)位于竖隔板(9)的同侧。

6.按权利要求1所述旋转显影真空管路中的简易气液分离装置,其特征在于:所述进气口(7)与排气口(8)分别位于竖隔板(9)的两侧,其中横隔板的上方为进气口(7)。

7.按权利要求1所述旋转显影真空管路中的简易气液分离装置,其特征在于:所述活动塞(4)的轴向截面为倒“T”形,该活动塞(4)的一端由所述排液口(13)插入筒体(1)内,螺纹连接有螺母(6),活动塞(4)的另一端位于筒体(1)外。

8.按权利要求7所述旋转显影真空管路中的简易气液分离装置,其特征在于:所述活动塞(4)与筒体(1)底面之间设有套在活动塞(4)上的密封垫(5)。

9.按权利要求7所述旋转显影真空管路中的简易气液分离装置,其特征在于:所述螺母(6)的外径大于排液口(13)的直径。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于沈阳芯源微电子设备有限公司,未经沈阳芯源微电子设备有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201210380881.5/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top