[发明专利]缺陷检测方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种对被检查物的缺陷进行检测的技术。

背景技术

在日本特开2006-300634号公报中记载有一种使用超声波来检测缺陷的以往技术。在该以往技术中，首先，从配置在图10的两轴台1上的脉冲激光(pulsed laser)光源2向被检查物的主面3照射激光4而产生超声波。接着，利用探头5来接收从激光4的照射点传播的超声波。经由放大器6通过超声波检测器7检测与接收到的超声波对应的来自探头5的信号。然后，为了向主面3的整面照射激光4，而使用两轴台1使激光4的照射位置变化，并照射多次激光4。计算机8基于在激光4的各照射位置处检测到的超声波，来检测主面3的缺陷，确定其位置。

然而，在上述的以往技术中，由于向主面3的整面照射激光4，因此激光4产生的热量有时会对主面3造成坏影响。

发明内容

因此，本发明目的在于提供一种与以往相比，能够减小激光产生的热量对主面的影响的缺陷检测方法。

为了实现上述目的，本发明的缺陷检测方法的特征在于，包括：定义工序，其中在被检查物的比主面的面积小的侧面上定义多个照射位置，并定义与该多个照射位置分别对应的多个接收位置；接收工序，其中向所述照射位置照射激光，并对在所述定义工序中定义的全部所述多个照射位置，进行在与该照射位置对应的所述接收位置接收超声波的工序；以及检测工序，其中基于在所述接收工序中接收到的超声波来检测所述被检查物的缺陷，所述定义工序中，以利用将所述照射位置和与该照射位置对应的所述接收位置分别连结的多条直线在从所述主面侧观察下形成多个交点的方式，定义所述多个照射位置和所述多个接收位置，所述检测工序中，检测所述多个交点的各自的位置上的缺陷。

如以上那样，根据本发明，与以往相比，能够减小激光产生的热量对主面造成的影响。

附图说明

图1是实施方式的缺陷检测装置的示意图。

图2是对在实施方式中在被检查物中没有缺陷的情况下取得的超声波的波形的曲线图(graph)进行表示的图。

图3是对在实施方式中在被检查物中有缺陷的情况下取得的超声波的波形的曲线图进行表示的图。

图4A是表示在实施方式中判定一条直线上有无缺陷的情况的示意图。

图4B是表示在实施方式中判定直线的一个交点的位置有无缺陷的情况的示意图。

图4C是表示在实施方式中判定直线的另一个交点的位置有无缺陷的情况的示意图。

图5是表示在实施方式中定义的多条直线的分布的示意图。

图6是表示在实施方式中的缺陷检测装置的动作的流程图。

图7是表示在实施方式中定义的多条直线的分布的另一例的示意图。

图8是表示在实施方式中定义的多条直线的分布的又一例的示意图。

图9是表示在实施方式中定义的多条直线的分布的再一例的示意图。

图10是以往技术的示意图。

具体实施方式

以下，参照附图，对实施方式进行说明。

(实施方式)

图1表示实施方式中的缺陷检测装置100的结构。缺陷检测装置100使用激光102来实施被检查物101的缺陷的有无的判定和缺陷的位置的确定，由此进行被检查物101的缺陷的检测。另外，被检查物101是平板形状的基板。在本实施方式中，将被检查物101形成为厚度0.2mm、外形125mm×125mm的单晶的硅晶片。

以下，进行图1的缺陷检测装置100的结构的说明。

从脉冲激光光源104照射的激光102通过检流计反射镜(galvanometermirror)105而使行进方向弯曲，经由fθ透镜106及折返反射镜107而向被检查物101的侧面101b的照射位置(例如照射位置Qxn)聚光。另外，被检查物101载置在载置部108。

在本实施方式中，为了高效率地产生超声波，而在作为照射部的脉冲激光光源104中采用波长532nm的Nd-YAG激光源，该波长是作为被检查物101的硅晶片的光吸收率高的波长。从脉冲激光光源104照射的激光102作为一例，为脉冲宽度10ns、重复频率10kHz。

在激光102所照射的被检查物101的侧面101b上，瞬间产生热膨胀，产生超声波作为热激发超声波。产生的超声波在被检查物101内作为板波进行传播。