[发明专利]一种采用中红外光源检测SF6气体及其分解物的装置及检测方法

权利要求书

1.一种采用中红外光源检测SF₆气体及其分解物的装置，其特征在于：它包括：激光器(1)、一号聚焦透镜(2-1)、二号聚焦透镜(2-2)、光谱仪(4)和计算机(5)；

所述激光器(1)用于产生激光束，该激光束经一号聚焦透镜(2-1)会聚成平行光后入射至待测气体(3)中，经过待测气体(3)的光束入射至二号聚焦透镜(2-2)上，二号聚焦透镜(2-2)将会聚成平行光后的光束入射至光谱仪(4)上，光谱仪(4)通过USB接口与计算机(5)相连。

2.根据权利要求1所述的一种采用中红外光源检测SF₆气体及其分解物的装置，其特征在于：激光器(1)输出激光束的波长为2.5μm-5.0μm。

3.应用权利要求1所述的一种采用中红外光源检测SF₆气体及其分解物的装置测试SF₆气体及其分解物的方法，其特征在于：该方法的实现过程为：

激光器(1)发射激光束经一号聚焦透镜(2-1)、待测气体(3)和二号聚焦透镜(2-2)后，入射至光谱仪(4)上，光谱仪(4)获取透过待测气体(3)的光的波长值和光波的强度，并将其发送至计算机(5)，计算机(5)根据光谱仪(4)获取的波长值获知待测气体(3)中气体的类型，计算机(5)根据光谱仪(4)获取的光波强度获得待测气体(3)中气体的浓度。

4.根据权利要求3所述的检测SF₆气体及其分解物的方法，其特征在于：计算机(5)根据光谱仪(4)获取的波长值获知待测气体(3)中气体的类型的方法为：

若存在位于2.60μm～3.98μm内的波长值时，则判定待测气体(3)中含有H₂S；

若存在位于3.36μm～3.39μm内的波长值时，则判定待测气体(3)中含有SOF₂；

若存在位于4.02μm～4.61μm内的波长值时，则判定待测气体(3)中含有SO₂；

若存在位于2.50μm～2.86μm内的波长值时，则判定待测气体(3)中含有HF；

若波长值为4.26μm时，则判定待测气体(3)中含有CO₂；

若存在位于4.3μm～4.60μm内的波长值时，则判定待测气体(3)中含有CO；

若波长值为3μm时，则判定待测气体(3)中含有H₂O。