[发明专利]光刻胶成膜树脂及其制备方法

权利要求书

1.一种光刻胶成膜树脂，其特征在于，由式（1）所示的单体A、式（2）所示的单体B和式（3）所示的单体C聚合而成；

其中，所述单体A的物质的量的百分比为20%-60%；所述单体B的物质的量的百分比为20%-60%；所述单体C的物质的量的百分比为10%-60%；所述n为1-10的整数。

2.根据权利要求1所述的光刻胶成膜树脂，其特征在于，所述R¹-R⁴各自地选自氢、卤素、羟基、取代或未取代的C₁-C₄烷基、C₁-C₄烷氧基、取代或未取代的C₁-C₄胺基中的一种；

所述R⁵-R⁶各自地选自氢、取代或未取代的烷基和杂环基中的一种。

3.根据权利要求1所述的光刻胶成膜树脂，其特征在于，所述R⁷选自氢、卤素、羟基和C₁-C₄烷基中的一种。

4.根据权利要求1所述的光刻胶成膜树脂，其特征在于，所述R⁸选自羧基或酯基中的一种。

5.根据权利要求1所述的光刻胶成膜树脂，其特征在于，

所述单体A的物质的量的百分比为25%-40%；

所述单体B的物质的量的百分比为35%-45%；

所述单体C的物质的量的百分比为20%-30%。

6.一种光刻胶成膜树脂的制备方法，其特征在于，包括：

向溶剂中分别混入式（1）所示的单体A、式（2）所示的单体B、式（3）所示的单体C和引发剂，形成第一混合溶液；

以50-90℃的反应温度对所述第一混合溶液进行加热，使所述单体A、所述单体B和所述单体C聚合，反应时间为8-20小时；

对反应后的所述第一混合溶液进行自然冷却，并在甲醇和水的第二混合溶液中析出光刻胶成膜树脂的白色沉淀；

过滤出所述第二混合溶液中的白色沉淀、并进行干燥，获取所述光刻胶成膜树脂；

其中，所述单体A的物质的量的百分比为20%-60%，所述单体B的物质的量的百分比为20%-60%，所述单体C的物质的量的百分比为10%-60%，所述n为1-10的整数。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述R¹-R⁴各自地选自氢、卤素、羟基、取代或未取代的C₁-C₄烷基、C₁-C₄烷氧基、取代或未取代的C₁-C₄胺基中的一种；

所述R⁵-R⁶各自地选自氢、取代或未取代的烷基和杂环基中的一种。

8.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述R⁷选自氢、卤素、羟基和C₁-C₄烷基中的一种。

9.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述R⁸选自羧基或酯基中的一种。

10.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述单体A的物质的量的百分比为25%-40%；所述单体B的物质的量的百分比为35%-45%；所述单体C的物质的量的百分比为20%-30%。

11.根据权利要求6-10任一所述的方法，其特征在于，所述反应温度为80-85℃。

12.根据权利要求6-10任一所述的方法，其特征在于，所述反应时间为12小时。

13.根据权利要求6-10任一所述的方法，其特征在于，所述溶剂为单体总质量的8-12倍。

14.根据权利要求13所述的方法，其特征在于，所述溶剂为二氧六环或四氢呋喃。

15.根据权利要求6-10任一所述的方法，其特征在于，所述引发剂为偶氮二异丁腈、过氧化苯甲酰或过硫酸铵。

16.根据权利要求15所述的方法，其特征在于，所述引发剂质量为单体总质量的0.6%-1%。