[发明专利]光学式加速度计

权利要求书

1.一种光学式加速度计，该光学式加速度计包含：

第一衬底，该第一衬底包含：

框体；

可移动件，该可移动件沿至少一方向形成有间隔的开口以作为衍射光栅；及

至少一弹性元件，连接于所述框体与所述可移动件之间；

第二衬底，包含至少一感测单元以用以感测所述衍射光栅形成的零阶衍射图案及第一阶衍射图案；

间隙层，设置于所述第一衬底与所述第二衬底之间，用以界定一预设高度；以及

处理单元，耦接所述感测单元，该处理单元用以根据所述零阶衍射图案及所述第一阶衍射图案计算三维加速度。

2.根据权利要求1所述的光学式加速度计，其中所述间隙层一体成型于所述第一衬底或所述第二衬底。

3.根据权利要求1或2所述的光学式加速度计，其中所述处理单元根据所述零阶衍射图案的位置变化对共平面加速度进行计算。

4.根据权利要求1或2所述的光学式加速度计，其中所述处理单元根据所述零阶衍射图案与所述第一阶衍射图案的相对关系对出平面加速度进行计算。

5.根据权利要求1或2所述的光学式加速度计，其中在所述可移动件上沿第一方向形成有第一间隔的开口且沿第二方向形成有第二间隔的开口。

6.根据权利要求5所述的光学式加速度计，其中所述第二衬底包含对应所述第一间隔的开口的第一感测单元及对应所述第二间隔的开口的第二感测单元。

7.根据权利要求6所述的光学式加速度计，其中所述处理单元根据所述第一感测单元感测的所述零阶衍射图案计算第一共平面加速度并根据所述第二感测单元感测的所述零阶衍射图案计算第二共平面加速度。

8.根据权利要求1或2所述的光学式加速度计，其中所述衍射光栅为穿透式衍射光栅或反射式衍射光栅。

9.根据权利要求8所述的光学式加速度计，该光学式加速度计还包含发光照射所述衍射光栅以形成所述零阶衍射图案及所述第一阶衍射图案的同调光源。

10.一种光学式加速度计，该光学式加速度计包含：

感测衬底，包含至少一感测单元；

光栅衬底，该光栅衬底相对所述感测衬底并包含可移动件，所述可移动件上形成有至少一衍射光栅，加速时所述可移动件相对所述感测衬底进行相对运动；

同调光源，发光照射所述至少一衍射光栅以在所述至少一感测单元上形成衍射图案；以及

处理单元，耦接所述至少一感测单元以根据所述衍射图案计算三维加速度。

11.根据权利要求10所述的光学式加速度计，其中所述衍射图案包含零阶衍射图案及第一阶衍射图案。

12.根据权利要求11所述的光学式加速度计，其中所述处理单元根据所述零阶衍射图案与所述第一阶衍射图案的相对关系对出平面加速度进行计算。

13.根据权利要求11所述的光学式加速度计，其中所述处理单元根据所述零阶衍射图案的位置变化对共平面加速度进行计算。

14.根据权利要求10所述的光学式加速度计，其中所述至少一衍射光栅为穿透式衍射光栅或反射式衍射光栅。

15.根据权利要求10所述的光学式加速度计，其中所述至少一衍射光栅为间隔的开口或平行条状部。

16.根据权利要求15所述的光学式加速度计，其中所述至少一衍射光栅包含形成于第一方向的第一衍射光栅及形成于第二方向的第二衍射光栅。

17.根据权利要求16所述的光学式加速度计，其中所述感测衬底包含对应所述第一衍射光栅的第一感测单元及对应所述第二衍射光栅的第二感测单元。

18.根据权利要求17所述的光学式加速度计，其中所述处理单元根据所述第一感测单元感测的所述衍射图案计算第一共平面加速度并根据所述第二感测单元感测的所述衍射图案计算第二共平面加速度。

19.根据权利要求10所述的光学式加速度计，其中所述感测衬底包含位于所述感测衬底的边缘并朝向所述光栅衬底垂直延伸出一预设高度的侧壁。

20.根据权利要求10所述的光学式加速度计，其中所述光栅衬底包含位于所述光栅衬底的边缘并朝向所述感测衬底垂直延伸出一预设高度的侧壁。