[发明专利]快速衬底支撑件温度控制

权利要求书

1.一种用于控制衬底支撑件的温度的设备，包括：

第一热传递回路，其具有第一浴槽，所述第一浴槽具有处于第一温度的第一热传递流体，并利用第一流量控制器来将所述第一热传递流体提供到所述衬底支撑件；

第二热传递回路，其具有第二浴槽，所述第二浴槽具有处于第二温度的第二热传递流体，并利用第二流量控制器来将所述第二热传递流体提供到所述衬底支撑件；以及

一个或多个回流管路，其将所述衬底支撑件的一个或多个出口耦接到所述第一浴槽和所述第二浴槽，来使得所述第一热传递流体和所述第二热传递流体回流到所述第一浴槽和所述第二浴槽，

其中，所述第一热传递流体和所述第二热传递流体在进入所述衬底支撑件之前不混合，并且其中，所述一个或多个回流管路包括将所述衬底支撑件耦接到所述第一浴槽的第一回流管路以及将所述衬底支撑件耦接到所述第二浴槽的第二回流管路。

2.根据权利要求1所述的设备，其中，所述第一热传递回路的所述第一流量控制器包括用来将所述第一热传递流体的流动在所述衬底支撑件与所述第一浴槽之间分流的分流器，并且其中，所述第二热传递回路的所述第二流量控制器包括用来将所述第二热传递流体的流动在所述衬底支撑件与所述第二浴槽之间分流的分流器。

3.一种用于控制衬底支撑件的温度的方法，包括：

使得具有第一温度的第一热传递流体从第一浴槽流动到所述衬底支撑件；

使得具有第二温度的第二热传递流体从第二浴槽流动到所述衬底支撑件；

使得所述第一热传递流体和所述第二热传递流体回流到所述第一浴槽和所述第二浴槽；以及

使得所述第一热传递流体和所述第二热传递流体流动，其中，所述第一热传递流体和所述第二热传递流体不混合。