[发明专利]一种激光有源微调承片台

说明书

技术领域

本发明涉及一种集成电路的调整装置，特别涉及用于激光调阻机的可调焦承片台，主要用于多种规格电路的电阻值在线调整或金属管壳电路电参数有源微调。

背景技术

激光微调是利用激光束的高能量汽化掉陶瓷基片上的部分电阻材料，从而减小膜电阻的有效宽度，使电阻值（电参数值）达到设计要求。

由于各类激光微调机随机配备的标准承片台高度、激光焦距基本固定不变，因此对待调基片（或已经组装到金属管壳内的基片，称之为金属管壳电路，下同）高度有严格要求。

一般来说，在对金属管壳电路电阻值微调时，采用搭建书本、铁盘来调节激光调阻所需要的焦距；或在有源微调时把金属管壳电路安装到测试台上，连同测试台一起放进激光机腔内，若高度不够，同样采用在测试台下垫书本的方法来调整焦距。

现有技术存在下列问题：

（1）在有源微调金属管壳电路时，测试台是用来实时监控参数的变化。小尺寸测试台架容易放进激光机腔内，但尺寸偏大的测试台无法放到机腔内，且高度也可能会超过激光焦距的要求。因此，需要解决不同规格测试台进行金属管壳电路有源微调的难题。

（2）用书本或铁盘垫高的办法来调整待加工电路的高度，无法保证待加工电路的水平度，因激光聚焦不准确会导致切口不干净，成品率下降。

（3）目前，所有安装金属管壳电路的测试台无静电防护措施，金属外壳测试台放进带电的激光机内，无法满足金属管壳电路在有源微调时的静电防护要求。

发明内容

本发明的目的就是为了解决现有技术中存在的激光焦距难以调整、无可靠静电防护措施的缺陷，提供的一种激光有源微调承片台。

本发明采用的技术方案如下：

一种激光有源微调承片台，其特征在于它包括一个底座，底座上连接一个支撑筒，支撑筒上设有螺孔，其中设有相配合的紧定螺钉，设置一个面板，面板下面连接有支柱，支柱与支撑筒的内孔间隙配合。

在上述技术方案的基础上，有以下进一步的技术方案：

面板上四角部位分部设有安装孔。

本发明的优点：

（1）在一个承片台上可安装不同规格的测试台（大尺寸测试台需拆下PCB面板），承片台顶层上设计有4个可固定不同规格的测试台面板的螺钉，解决多种规格金属管壳电路测试台的有源微调问题。实时监控金属管壳电路有源微调，以提高参数精度及其一致性。

（2）准确聚焦，提高批量加工的成品率。通过T型面板的上下快速灵活移动调整承片台高度，结合激光机图象来调整物距准确聚焦，并用紧固螺栓锁定，使多种规格的金属管壳类电路的电阻切口干净平整，提高电路成品率。

（3）避免有源微调时静电烧毁测试台。在该承片台上安装静电防护安全装置，不仅解决了大尺寸测试台无法放置到激光机体内进行准确的有源调阻的问题，也避免了静电烧毁测试台。

附图说明

图1是本发明的可调焦激光微调承片台的结构图；

图2是是本发明应用于激光调阻机中的系统示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本发明做进一步的描述：

如图1所示，本发明提供的一种激光有源微调承片台，它包括一个底座5，底座5上连接一个支撑筒4，支撑筒上设有螺孔，其中设有相配合的紧定螺钉6，设置一个面板1，面板1上四角部位分部设有安装孔2，面板1下面连接有管型支柱3，支柱3与支撑筒4的内孔间隙配合。

如图2所示，将本发明的激光微调承片台放置于激光微调机中，激光微调机是现有产品，它包括激光器及其激光机腔体、与激光器相连的工控机及显示器。

在激光微调承片台的面板1上，通过4个固定螺钉固定测试台PCB面板（也可用固定夹代替固定螺钉，固定特殊的PCB面板），所需调阻的电路连接组合仪表，激光微调承片台的底座设有静电接地装置E。

实现本发明的基本操作流程为：把本发明的激光微调承片台放进激光机腔内，把测试台PCB面板固定在面板1上，安装好待有源调阻电路。然后通过调整面板1中的支柱3高度，微调整个承片台的高度（Z轴方向），在符合激光焦距使用要求后，用紧固螺栓6锁定支柱后即可开始调阻。把PCB面板连接到仪表组合，用来实时监控金属管壳电路在有源调阻时的参数变化。整个承片台高度发生改变，显示器实时显示PCB面板上的金属管壳电路的图像，以图像是否清晰来判定其高度是否满足激光焦距的要求，接着紧固螺栓，进行有源调阻。