[发明专利]一种离子光学偏轴传输系统

权利要求书

1. 一种离子光学偏轴传输系统，其特征在于系统包括：四极杆离子传输装置、一组连接到四极杆离子传输装置的电源，该电源为四极杆离子传输装置提供所需的射频电压及直流电压，实现离子聚焦及偏轴传输；其中：

所述的四极杆离子传输装置由若干级四极杆组成，各级四极杆布局依次呈阶梯形分布；

其中，后一级四极杆Z轴中心与前一级四极杆Z轴中心在Y方向上有距离偏差即一级阶梯高度，一级阶梯高度为1/4～3/4电极杆的最大杆径。

2. 根据权利要求1所述的离子光学偏轴传输系统，其特征在于所述的四极杆由四根金属杆或四根镀金的绝缘材料杆固定在陶瓷环上组成。

3. 根据权利要求2所述的离子光学偏轴传输系统，其特征在于所述的四根金属杆或四根绝缘材料杆，其横截面为圆形、双曲面形或椭圆形。

4. 根据权利要求1所述的离子光学偏轴传输系统，其特征在于每个四极杆中有四个电极杆，每两个对称电极杆组成一对，共两对，射频电压分别加在两对对称的电极杆上，其射频电压幅度值相同，相位相差180°。

5. 根据权利要求4所述的离子光学偏轴传输系统，其特征在于所述四极杆中两对对称的电极杆上分别施加+RF射频电压和-RF射频电压，在施加+RF射频电压的其中一个电极杆上施加+V直流电压，在施加+RF射频电压的另外一个电极杆上施加-V直流电压，施加-RF射频电压的两根电极杆上不施加任何直流电压，从而在四极杆内部形成四极电场；并且，施加在各级四极杆上的直流电压值也逐级呈阶梯分布，每级电压级差为0.5~10V，形成一个有效的电势阶梯。

6. 根据权利要求5所述的离子光学偏轴传输系统，其特征在于所述射频电压+RF和直流电压+V施加在四极杆的Y方向上一根电极杆上，射频电压+RF和直流电压-V施加在Y方向上另一根电极杆上；射频电压-RF施加在四极杆的X方向上两个对称电极杆上；改变射频电压RF值和直流电压V值，离子进入四极杆Z方向前进时，离子在四极杆中的运动是X和Y方向振动的合运动。