[发明专利]波导芯片和PD阵列耦合的对准装置及利用其对准的方法

权利要求书

1.一种波导芯片和PD阵列耦合的对准装置，其特征在于：

   所述的对准装置包括有红外CCD监测系统、六维微调架（103）、夹持单元（102）、波导支撑架（115）、模块支架（104）、待耦合对准模块、待耦合对准模块的封装外盒（111）、基板（114）；

   所述的红外CCD监测系统由红外CCD（101）、三维微调架（107），红外CCD支架（106）和监视器（118）、照明光源（105）和LED光源（119）组成；其响应谱线涵盖可见光和近红外光波段；

   所述的待耦合对准模块包括波导芯片（109）和PD阵列（108），其被封装在封装外盒（111）内；

   所述的夹持单元（102）设置在六维微调架（103）上，且其上固定有波导支撑架（115）；

   所述的六维微调架（103）旁设置有模块支架（104），模块支架（104）上固定有待耦合对准模块的封装外盒（111），封装外盒（111）底部固定设置有基板（114），基板（114）上设置有PD阵列（108），PD阵列（108）的光敏面向上；

   所述的波导芯片（109）固定在波导支撑架（115）上，其输出光斑垂直向下，其位置位于PD阵列（108）的上方；

   所述的红外CCD（101）倾斜放置对准PD阵列（108）。

2.如权利要求1所述的一种波导芯片和PD阵列耦合的对准装置，其特征在于：

   所述的六维微调架（103）通过驱动模块与电脑连接，由电脑控制其6维方向的移

动。

3.如权利要求1所述的一种波导芯片和PD阵列耦合的对准装置，其特征在于：

   所述PD阵列采用高速PD阵列，所述高速PD阵列的速率大于10Gbps。

4.如权利要求1或2或3所述的一种波导芯片和PD阵列耦合的对准装置，其特征在于：

   所述红外CCD101的图像总放大率为100×，图像分辨率达2um；所述六维微调架103的细调精度为1um。

5.如权利要求1或2或3所述的一种波导芯片和PD阵列耦合的对准装置，其特征在于：

   所述的波导芯片（109）上粘接有一直角棱镜（116），直角棱镜（116）中的另一直角面上设置有透镜阵列（117），通过透镜阵列（117）的光斑阵列投射到PD阵列（108）的光敏面上。

6.如权利要求1或2或3所述的一种波导芯片和PD阵列耦合的对准装置，其特征在于：

  所述波导芯片（109）输出端面具有一个45度角斜面。