[发明专利]贴合装置

权利要求书

1.一种贴合装置，在进行了载置在贴合工作台上的第一板状构件和比该第一板状构件位于上方的第二板状构件的位置对合之后，在利用比所述第二板状构件位于上方的按压机构将所述第二板状构件的一端部压靠在所述第一板状构件上的状态下，使所述按压机构相对于所述第一板状构件及所述第二板状构件的相对位置沿着贴合方向变化，由此将所述第二板状构件贴合在所述第一板状构件上，

所述贴合装置的特征在于，具有：

辅助板，其所述贴合方向上的长度比所述第二板状构件长，且在贴合之际位于所述第二板状构件与所述按压机构之间，并保持所述第二板状构件；

第一枕垫，其具有支承部，该支承部通过对位于被保持的所述第二板状构件的所述一端部侧的所述辅助板的第一端部的下表面进行支承，从而在所述贴合之际对所述第一端部向下方向的移动加以限制；

第二枕垫，其具有支承部，该支承部通过对与所述第一端部对置的所述辅助板的第二端部的下表面进行支承，从而在所述贴合之际对所述第二端部向下方向的移动加以限制，

所述第一枕垫及所述第二枕垫能够独立地上下升降，

通过在将所述第二端部维持为比所述第一端部高的位置的状态下，隔着所述辅助板而利用所述按压机构对所述第二板状构件进行按压，从而使所述第二板状构件的未被按压的部分和所述第一板状构件不接触。

2.如权利要求1所述的贴合装置，其特征在于，

所述辅助板具有不会由于自重而弯曲但通过被所述按压机构按压而与所述第二板状构件一同弯曲的程度的刚性。

3.如权利要求1所述的贴合装置，其特征在于，

所述辅助板具有由于自重而在预先设定的范围内弯曲的程度的刚性。

4.如权利要求1～3中任一项所述的贴合装置，其特征在于，

所述辅助板由对所述第二板状构件的上表面进行吸附并保持的第一辅助板和重叠设置在该第一辅助板上的第二辅助板构成，

在所述第二辅助板的下表面侧与所述贴合方向平行地设有多个沿着所述贴合方向延伸的吸附槽，

在所述第一辅助板上沿着所述吸附槽而设有多个与所述吸附槽连通的吸附孔。

5.如权利要求1～3中任一项所述的贴合装置，其特征在于，

所述辅助板由对所述第二板状构件的上表面进行吸附并保持的第一辅助板和重叠设置在该第一辅助板上的第二辅助板构成，

在第一辅助板的上表面侧与所述贴合方向平行地设有多个沿着所述贴合方向延伸的吸附槽，

在第一辅助板的下表面侧沿着所述吸附槽而设有多个与所述吸附槽连通的吸附孔，

所述第二辅助板覆盖所述吸附槽。

6.如权利要求4或者5所述的贴合装置，其特征在于，

多个所述吸附槽由沿着不与所述贴合方向正交的方向延伸的连结槽相互连结，

多个所述吸附槽及所述连结槽中的一个槽与外部的真空源连接。

7.如权利要求1～6中任一项所述的贴合装置，其特征在于，

所述第二枕垫的所述支承部构成为对应于所述第二板状构件与所述第一板状构件的贴合角度而倾动自如。