[发明专利]一种高沸点单晶硅片表面制绒添加剂及其使用方法

权利要求书

1.一种高沸点单晶硅片表面制绒添加剂，其特征在于包括以下原料组分：

海藻酸钠、磷酸三钠、十二烷基硫酸钠、维生素C、碳酸丙烯酯和去离子水。

2.如权利要求1所述的高沸点单晶硅片表面制绒添加剂，其特征在于：按质量百分比计，包括以下原料组分：

海藻酸钠         0.01%-3%

磷酸三钠         0.01%-3%

十二烷基硫酸钠   0.001%-1%

维生素C          0.1%-2%

碳酸丙烯酯       0.1%-5%

和余量的去离子水。

3.一种高沸点单晶硅片表面制绒添加剂使用方法，其特征在于：选取适量的添加剂，在添加剂中加入适量的碱性溶液，混合反应后，制成制绒液。

4.如权利要求3所述的高沸点单晶硅片表面制绒添加剂使用方法，其特征在于：所述的碱性溶液为浓度1%-10%的氢氧化钠溶液。

5.如权利要求3所述的高沸点单晶硅片表面制绒添加剂使用方法，其特征在于：所述的添加剂与碱性溶液的体积百分比为0.1-5:100。

6.如权利要求3所述的高沸点单晶硅片表面制绒添加剂使用方法，其特征在于：所述的制绒液的温度为70℃-90℃。

7.如权利要求6所述的高沸点单晶硅片表面制绒添加剂使用方法，其特征在于：单晶硅在制绒液中的反应时间为600s-1500s。

8.如权利要求3-7任一权利要求所述的高沸点单晶硅片表面制绒添加剂使用方法，其特征在于：应用于大规模工业生产时，每批制绒后，可以根据绒面金字塔的情况，适量补加或不补加添加剂。

9.如权利要求3-7任一权利要求所述的高沸点单晶硅片表面制绒添加剂使用方法，其特征在于：应用于大规模工业生产时，每批制绒后，可以根据绒面金字塔的情况，适量补加或不补加氢氧化钠溶液。