[发明专利]焊球供给装置有效
申请号: | 201210365702.0 | 申请日: | 2012-09-27 |
公开(公告)号: | CN103077896A | 公开(公告)日: | 2013-05-01 |
发明(设计)人: | 五十岚章雄;水鸟量介;桥本尚明;三本胜;本间真 | 申请(专利权)人: | 株式会社日立工业设备技术 |
主分类号: | H01L21/48 | 分类号: | H01L21/48 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人: | 张斯盾 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 供给 装置 | ||
技术领域
本发明涉及向半导体基板的电极上供给焊球的印刷机,尤其涉及具备将焊球向充填头供给的焊球供给部的焊球供给装置。
背景技术
以往的焊球印刷机的例记载在专利文献1中。在该公报记载的印刷机中,为了通过简单的结构,使焊球均匀地分散在掩模面上,向掩模的开口部充填,焊球供给头具备储存焊球的焊球储存部、用于在焊球储存部的下方将规定量的焊球向掩模面供给的焊球供给部。焊球供给头做成还具有焊球充填部件,该焊球充填部件隔着焊球供给部件被设置多个,随着焊球供给头的移动,一面将焊球向掩模面的开口部推压,一面刮掉多余的焊球的结构。因此,在与掩模面接触的一侧具有半螺旋状的线材。
向焊球印刷机供给焊球时使用的计量装置的以往的例记载在专利文献2中。在该公报记载的粒状物质的计量装置中,在将作为粒状物质的焊球向拨入头供给时,在计量了供给量的基础上向印刷部供给。即、计量器具备储存粒状物质的储存部和进行计量的计量部。而且,计量部具有计量粒状物质的计量腔、临时储存被计量的粒状物质的临时储存腔、使它们相连的流路。
将计量腔和临时储存腔的角度差设定为90度,最初向储存部供给焊球,保持为处于基准状态的待机状态。接着,使计量器右旋转90度。据此,使在待机状态被充填在计量腔的粒状物质临时向临时储存腔移动。此时,移动到临时储存腔内的粒状物质的量被看做被计量的焊球量。接着,使计量器左旋转90度,将临时储存腔内的粒状物质排出,且向计量腔充填粒状物质。通过反复上述操作,执行计量操作。
在先技术文献
专利文献1:日本特开2010-135457号公报
专利文献2:日本特开2009-204442号公报
在上述专利文献1记载的焊球印刷机中,在焊球供给工作台可旋转地设置由注射器等构成的焊球储存部。而且,在通常状态下,该焊球储存部的焊球排出口成为水平方向,在将焊球向焊球供给部供给时,回转执行器使焊球储存部旋转。据此,能够与焊球供给部内的焊球的量相应地使焊球储存部动作,补充焊球。
在该专利文献1记载的印刷机中,因为能够供给焊球供给部内的焊球,所以,能够进行与必要量的变化相应的供给。但是,没有充分公开怎样在焊球供给部确保必要的焊球量。
另外,上述专利文献2记载的计量装置中,在两张重合的板的一方上,通过仿形加工形成焊球流通的流路。而且,将计量腔和一次储存腔的角度差设定为90,使计量器旋转90度,交替地实施粒状物质的排出和充填。在该计量装置中,在计量时需要使焊球停留,而且,使流路的一部分成为狭小的流路。因此,若高精度地计量使用,则产生使轻型机低速转动动作的必要,在这种情况下,存在产生在流路途中,粒状物质堵塞,不能进行充分的供给、排出的事态的可能性。若为了消除该问题而使轻型机高速转动,则计量精度降低。另外,在一次转动动作中,只能供给由流路形状决定的量的焊球,难以进行与印刷媒质相应的任意量的供给。
本发明是鉴于上述以往技术的问题做出的发明,其目的是恰当地控制焊球印刷机具备的焊球供给机构的焊球供给量。本发明的其它目的是不招致装置的大型化,能够精度良好地供给任意量的焊球。
发明内容
为了实现上述目的,本发明中,具备向在被载置于印刷工作台上的基板上形成的电极上印刷焊球的掩模和焊球充填头,焊球充填头由焊球充填部和焊球供给部构成,由使焊球供给部与焊球充填部一起上下移动的充填头上下驱动机构和使上述焊球供给部上下移动,供给·停止焊球的供给部上下驱动机构构成。
另外,焊球供给部由储存焊球的注射器和将焊球向掩模面上供给的管件构成,做成通过由供给部上下驱动机构,使焊球供给部上下来使上述管件的途中挠曲或伸展,据此,进行焊球的供给、停止的结构。
再有,实现上述目的的本发明的特征在于,在使形成有多个开口的掩模重合在被载置于印刷工作台上且形成有电极的基板,使用焊球充填头向上述基板的电极印刷焊球的焊球印刷装置中,上述焊球充填头具有将上述焊球向上述掩模充填的焊球充填部、储存上述焊球且向上述焊球充填部供给规定量的上述焊球的焊球供给部,上述焊球供给部具有储存上述焊球的注射器、与该注射器连接且形成将上述焊球向上述掩模的表面上供给的流路的柔性的抗静电管件、保持上述抗静电管件的中间部并对将上述焊球向上述掩膜的表面供给和停止进行切换的倾斜切换机构,该倾斜切换机构使形成在上述抗静电管件的中间的第一直线部的角度可变。
发明效果
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造