[发明专利]一种双腔清洗装置及其清洗方法

权利要求书

1.一种双腔清洗装置，其特征在于，包括：一清洗腔室；所述清洗腔室内设置有：

治具盘，用于放置待清洗的工件；

清洗系统，包括：用于对工件内外表面进行清水清洗的清水清洗装置、用于对工件内外表面进行药水清洗的药水清洗装置和切换装置；

空气吹干系统，用于对清洗后的工件进行吹干；

待清洗的工件放置在治具盘中，清洗系统中的药水清洗装置对工件进行清洗后，空气吹干系统将工件上的药水吹干；切换装置切换到清水清洗装置，由清水清洗装置对工件进行清洗，清洗后再由空气吹干系统进行吹干。

2.根据权利要求1所述的双腔清洗装置，其特征在于，所述清水清洗装置包括：进水管道、循环水箱、用于清洗工件内部的第一喷水装置和用于清洗工件外部的第二喷水装置，所述第一喷水装置、第二喷水装置均连接到循环水箱，所述循环水箱连接进水管道。

3.根据权利要求2所述的双腔清洗装置，其特征在于，所述进水管道上设置有电磁阀和球阀。

4.根据权利要求2所述的双腔清洗装置，其特征在于，所述循环水箱内设置有电热管，所述循环水箱与第一喷水装置、第二喷水装置的连接管道上设置有水泵和油污过滤装置。

5.根据权利要求1所述的双腔清洗装置，其特征在于，所述切换装置为用于切换清水清洗装置和药水清洗装置的切换阀。

6.根据权利要求4所述的双腔清洗装置，其特征在于，所述油污过滤装置包括：过滤器和内附磁棒的多袋滤筒。

7.根据权利要求1所述的双腔清洗装置，其特征在于，所述药水清洗装置包括：进药水管道、循环药水箱、用于清洗工件内部的第一喷药水装置和用于清洗工件外部的第二喷药水装置，所述第一喷药水装置、第二喷药水装置均连接到循环药水箱，所述循环药水箱连接进药水管道。

8. 一种权利要求1所述的双腔清洗装置的清洗方法，其特征在于，包括以下步骤：

ST1、待清洗的工件放置在治具盘中；

ST2、清洗系统中的药水清洗装置对工件进行清洗；

ST3、空气吹干系统将工件上的药水吹干；

ST4、切换装置切换到清水清洗装置，由清水清洗装置对工件进行清洗；

ST5、清洗后再由空气吹干系统将工件上的水吹干。

9. 根据权利要求8所述的双腔清洗装置的清洗方法，其特征在于，所述步骤ST2中，药水清洗装置对工件进行清洗时，清洗后的药水落入循环药水箱内，以备下次药水清洗使用。