[发明专利]真空保持阀门及利用该装置的扫描电子显微镜

权利要求书

1.一种真空保持阀门，通过密封形成在腔室上的开口部，将腔室内部保持真空，其特征在于，包括：

主体部，从外部接收动力而沿着所述腔室的壁面进行并进运动；

止挡部，位于所述腔室上，具备旋转辊；

阀门部，在与所述主体部连接的状态下移动，其一面与所述旋转辊接触，从而其移动方向转换为所述开口部侧方向或者远离所述开口部的方向中的一个方向而开闭所述腔室；

旋转构件，在所述主体部上与所述旋转辊相对配置，当所述止挡部和所述阀门部接触时接触所述阀门部的另一面，以引导所述阀门部的移动方向。

2.根据权利要求1所述的真空保持阀门，其特征在于，

在所述阀门部与所述旋转辊及所述旋转构件接触时，当所述旋转辊和所述旋转构件的相隔距离缩短时，所述阀门部向所述开口部侧接近，当所述旋转辊和所述旋转构件的相隔距离增大时，所述阀门部远离所述开口侧。

3.根据权利要求1所述的真空保持阀门，其特征在于，

所述阀门部的与所述旋转辊接触的表面越是朝向开口部侧越偏向止挡部侧倾斜，以使所述阀门部在与所述旋转辊接触时，向所述开口部侧移动。

4.根据权利要求3所述的真空保持阀门，其特征在于，

所述主体部的端部向所述阀门部的上侧突出，并形成有狭槽，用于在所述阀门部与旋转辊接触时，引导所述阀门部向所述主体部的移动方向的相反方向运动，

且进一步包括连接部，所述连接部的一侧在收容于狭槽内的状态下，当开放所述腔室时偏向位于所述止挡部侧，当密封所述腔室时偏向位于所述旋转构件侧，另一侧插入于阀门部并连接所述主体部和所述阀门部。

5.根据权利要求4所述的真空保持阀门，其特征在于，

所述连接部包括：轴构件，在插入阀门部侧的端部上形成有凹凸部；弹性构件，沿着所述轴构件的外周面而配设，并与所述凹凸部接触，当密封所述腔室时被压缩，当开放所述腔室时被拉伸。

6.根据权利要求5所述的真空保持阀门，其特征在于，

进一步包括缓冲构件，配置在所述主体部和所述阀门部之间，用于缓冲由于在所述弹性构件拉伸时产生的恢复力而产生的的冲击。

7.根据权利要求1所述的真空保持阀门，其特征在于，

进一步包括密封部，配置在所述阀门部的下面，当密封所述腔室时处于所述腔室的壁面和所述阀门部之间。

8.根据权利要求1所述的真空保持阀门，其特征在于，

所述腔室进一步包括彼此间隔开配置的一对导向部，用于使所述主体部能够通过。

9.一种扫描电子显微镜，其特征在于，包括：

光源；

腔室，用于收容所述光源并形成有开口部；

所述权利要求1至8中的任一项所述的真空保持阀门，用于密封所述腔室；

聚光镜，用于将从所述光源发射的电子束聚焦成一点；

光圈，用于改变通过所述聚光镜的光线波长；

物镜，用于使被所述光圈改变了波长的光线通过；

镜筒，用于收容所述腔室、所述真空保持阀门、所述聚光镜、所述光圈及所述物镜；以及

载物台，用于支撑试样。

10.根据权利要求9所述的扫描电子显微镜，其特征在于，进一步包括检测部，配置在所述真空保持阀门的上方，用于检测从所述光源发射的电子束量。