[发明专利]金属有机物化学气相沉积设备石墨盘转移装置

权利要求书

1.一种金属有机物化学气相沉积设备石墨盘转移装置,包括:机械臂、手套箱（1）、喷淋盘（2）、喷淋盘导柱（3）、整流罩（7）、升降板导柱（8）、波纹管（9）、升降板（10）、连接套（11）、底座基体（13）、旋转座（14）、石磨盘支撑（15）、石墨盘（16）、石墨盘中转装置（17），机械臂由机械臂夹取爪（4）、机械臂旋转轴（5）、机械臂悬臂杆（18）和机械臂滑动导轨（6）组成，喷淋盘（2）经喷淋盘导柱（3）设置在手套箱（1）内，其特征在于所述手套箱（1）底板上设有一孔，底座基体（13）固定在手套箱（1）的底板开孔位置的箱体里面，整流罩（7）固定在底座基体（13）上，波纹管（9）的顶端和手套箱（1）的底板开孔位置的箱体密封连接，其底端与升降板（10）密封连接，升降板（10）上表面依次与连接套（11）、旋转座（14）、石墨盘支撑（15）和石墨盘（16）连接，升降板（10）由外部动力驱动沿升降板导柱（8）上下移动，旋转座（14）、石墨盘支撑（15）和石墨盘（16）都设置在手套箱（1）内，手套箱（1）的底板上设有一机械臂滑动导轨（6）与石墨盘中转装置（17），机械臂旋转轴（5）安装在机械臂滑动导轨（6）上，机械臂旋转轴（5）的顶端装有机械臂悬臂杆（18），机械臂夹取爪（4）安装在机械臂悬臂杆（18）的前端，机械臂所有运动都由外部驱动源驱动。

2.根据权利要求1所述的金属有机物化学气相沉积设备石墨盘转移装置，其特征在于机械臂由机械臂夹取爪（4）、机械臂旋转轴（5）、机械臂悬臂杆（18）和机械臂滑动导轨（6）组成，机械臂悬臂杆（18）通过机械臂旋转轴（5）可以沿机械臂导轨（6）前后移动以及旋转角度。

3.根据权利要求1所述的金属有机物化学气相沉积设备石墨盘转移装置，其特征在于所述石墨盘（16）放置在石磨盘支撑（15）上，由机械臂夹取爪（4）夹取或放置。

4.根据权利要求1所述的金属有机物化学气相沉积设备石墨盘转移装置，其特征在于所述石墨盘中转装置（17）是支撑由机械臂转移的石墨盘（16）暂时存放的中转台。

5.根据权利要求1所述的金属有机物化学气相沉积设备石墨盘转移装置，其特征在于升降板10可以上升或下降，并连接有波纹管（12）。