[发明专利]重合标记及其测量方法有效
| 申请号： | 201210350981.3 | 申请日： | 2012-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN103515357A | 公开（公告）日： | 2014-01-15 |
| 发明（设计）人： | 陈贞妤;谢铭峰;张庆裕 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 | 代理人： | 章社杲;孙征 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 重合 标记 及其 测量方法 | ||
1.一种重合标记，包括：
第一部件，仅沿第一纵向延伸；
第二部件，沿与所述第一纵向不同的第二纵向延伸；以及
第三部件，沿所述第一纵向和所述第二纵向延伸；
其中，所述第一部件位于第一层中，所述第二部件位于所述第一层上方的第二层中，并且所述第三部件位于所述第二层上方的第三层中。
2.根据权利要求1所述的重合标记，其中，所述第一纵向与所述第二纵向基本垂直。
3.根据权利要求1所述的重合标记，其中，所述第一部件包括：基本上相互平行的多个对准部分。
4.根据权利要求1所述的重合标记，其中，所述第二部件包括：基本上相互平行的多个对准部分。
5.根据权利要求1所述的重合标记，其中，所述第三部件包括：沿所述第一纵向延伸的基本上相互平行的多个对准部分以及沿所述第二纵向延伸的基本上相互平行的多个对准部分。
6.根据权利要求1所述的重合标记，其中，所述第三部件包括形成矩形图案或者正方形图案的四个对准部分。
7.根据权利要求1所述的重合标记，其中，所述第一部件包括隔离结构。
8.根据权利要求1所述的重合标记，其中，所述第二部件包括栅电极。
9.一种器件，包括：
衬底；以及
重合标记，位于所述衬底上方，其中，所述重合标记包括：
第一部件，仅沿第一纵向延伸；
第二部件，沿与所述第一纵向不同的第二纵向延伸；和
第三部件，沿所述第一纵向和所述第二纵向延伸；
其中，所述第一部件位于第一层中，所述第二部件位于所述第一层上方的第二层中，并且所述第三部件位于所述第二层上方的第三层中。
10.一种调节多层重合对准的方法，包括：
提供位于衬底上方的第一层中的第一部件，其中，所述第一部件包括仅沿X方向延伸的基本上相互平行的多个第一对准部分；
提供位于所述第一层上方的第二层中的第二部件，其中，所述第二部件包括沿与X方向不同的Y方向延伸的基本上相互平行的多个第二对准部分；
提供位于所述第二层上方的第三层中的第三部件，其中，所述第三部件包括沿X方向延伸的基本上相互平行的多个第三对准部分以及沿Y方向延伸的基本上相互平行的多个第四对准部分；
测量所述第四对准部分和所述第二对准部分之间的X方向偏差；
通过所述X方向偏差计算X方向偏移值；
测量所述第三对准部分和所述第一对准部分之间的Y方向偏差；
通过所述Y方向偏差计算Y方向偏移值；以及
使用所述X方向偏移值或所述Y方向偏移值来补偿重合误差。
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